净零碳排议题发烧 TEL推动环境友善解决方案

拜大量的半导体制程投资之赐，SEMI在2021年12月的报告指出，2021年第3季全球设备业者持续创造268亿美元的销售额，年成长率高达38%，比前一季还成长8%。

从2020年开始，产业界预期看到非常罕见的连续3年半导体设备销售的成长，大量的半导体芯片的需求因为高效能运算(HPC)、第五代移动通讯(5G)与人工智能(AI)、车用电子应用的畅旺驱动下，半导体市场全面的蓬勃发展，横亘上、中、下游的供应链与生态系统展现的火热前景令人称羡。

Tokyo Electron(TEL)台湾子公司 - 东京威力科创股份有限公司资深副总裁Peter Karl Loewenhardt接受DIGITIMES的专访，他看到半导体产业的这一波大幅度的成长，除了芯片的需求畅旺不坠之外，COVID-19(新冠肺炎)的疫情所刺激而引领的社会数码转型，也成为另一股重要的推力，整个产业变得活跃而生动活泼，酝酿接续的长期成长动能，这让设备供应商与供应链亟需面对接踵而至的挑战。

由于面对芯片愈来愈复杂的现实，需要提供精密尖端的制程技术，以及良好的可制造性，让每一颗产出的芯片都可以拥有稳定与一致性的效能，并且同时还需要考量降低制程对环境的冲击，这是TEL群策群力全面努力的重要领域，并且乐于对产业界与客户做出重要的贡献。

全球芯片短缺迫使汽车制造商限制或停止生产线的运作，让台湾的半导体供应链成为全球的焦点，台湾半导体产业的蓬勃发展，让他觉得非常的印象深刻，台湾晶圆代工产业非常成功的维持客户的信赖与商誉，并且不间断的投资先进节点的制程技术，还成功的做到大量生产，在市场上同时支持大量客户提供源源不断的产品供给，并享有充足的利润以持续扩大营运规模，这是台湾的晶圆代工产业如此成功而且持续不间断推进的原因。

原子层控制技术跃升为关键要角

提起先进制程节点的动向，随着微缩制程技术的挑战愈来愈大，新的3D晶体管结构与材料技术将在未来新时代的芯片上扮演更关键的角色，TEL持续与台湾半导体产业的客户做更紧密的合作。

目前的技术前景的发展，因应新的3D结构的发展，需要更精密的制程设备与解决方案。

由于薄膜制程越来越薄，制程挑战也更艰钜，TEL对于提供制程解决方案以处理3D结构有高度的期待，尤其在原子层控制沈积技术(Atomic level-controlled deposition)或原子层控制清除(Atomic level-controlled removal)的发展感到雀跃，这种以原子为厚度的制程技术，能产生具有高度均匀性、精准厚度控制的薄膜层，TEL并将持续投注开发技术以面对这个严峻的挑战。

除了前段制程的3D结构所需要的制程之外，对于异质整合封装的趋势，也是制程设备厂投注大量资源的领域。

将不同制程节点的小芯片利用3D封装技术加以整合在一个大芯片上，能够协助晶体管密度以一个经济有效的方法来增加，将有助于更高密度芯片的诞生，单一芯片的规模与封装持续演变，对TEL而言，涉足3D封装技术中的晶圆打线贴合与去除(Bonder/Debonder)机台的开发，这些新发展将持续快速演进。

彰显永续发展目标 降低对全球环境的冲击

永续发展目标(SDGs)是全球共同关注的议题，集政府、产业领袖、公民团体与技术社群一起，是一个为更好的未来与环境永续所启动的移动。半导体晶圆厂会消耗大量的电力、水资源和各种的化学品，TEL身为关键的设备供应商，提供高效率的尖端制程机台的同时，还考虑到降低对全球环境的冲击。

再者，数码转型的趋势，透过效率的改善与永续发展的效能提升，扮演一个达成SDGs目标的重要推手，TEL最近在日本的札幌设立Digital Design Square就是专为使用AI技术做为下一时代的数码转型的预作铺路之举。

举例来说，为了要开发一个低应力薄膜(Low-stress film)的基线制程(Baseline process)，传统上工程师需要进行50次左右的实验，才能达成理想的基线制程的数据。但是使用机器学习的技术，只要3次的实验就可以有效的达到同等的最佳化的结果，而且省下晶圆与其他的制程材料。

这不仅仅只是省时有效而已，最重要的是同步降低电能、气体与节省其他的重要资源，对环境的冲击也降到最低。

其他处于不同开发阶段类似的例子，也看到了使用科技来节省湿式化学品与热能，加上共享材料的大量使用等配套措施，有助于改善TEL整体设备的效率，也帮助客户放大产能并减少多余的耗费。

综观这些TEL针对SDGs所做的努力，驱动TEL进一步于2020年修改「2030永续发展方针」，期盼成为产业界领先达标的科技公司，凭藉资通讯技术所推动的数码转型，强化TEL达成SDGs目标的决心，再接再厉同时聚焦于先进制程节点的技术发展与SDGs目标的与时俱进的努力，尝试建立高度韧性的供应链，让全力冲刺经济发展的同时，还能不偏废环境永续的努力，为产业界贡献最大的效益。