志尚率先推出最新无放射性射源 IMS分析仪 酸硷一机分析

志尚仪器半导体展展出高科技厂房酸硷排气体及PM 2.5成分监控暨最新无放射性射源IMS AMC酸硷一机分析。志尚

志尚仪器率先推出「无放射性射源」IMS分析仪除了提供终端客户免除传统IMS以镍63或氚等放射性元素作为游离源，导致客户不论在使用或维修上都有着极大的困扰。

此外更由于Chemical Dopant的限制需要一种气体一台分析仪造成成本的提高，为此志尚仪器特别与国外研究机构合作推出最新一代「无放射性射源」且可商用化的离子光谱分析仪(IMS)除了不用任何「放射性元素」作为游离源，并可一机分别侦测Ammonia/Total Amines及HCl/Cl2/HF/Total Acid 的最新第四代IMS分析仪。

此外根据环保酸硷排与PM2.5监控的需求以及针对Semi IRDS 2017上的其他AMC量测方式，志尚仪器也与国立阳明交通大学环境工程研究所的蔡春进教授合力开发在线酸硷排放暨AMC分析系统(PWPD-IC)，除了可以针对大气做成分分析也成功应用于高科技厂房有关酸硷排放气体(五酸一硷)的在线侦测，目前已经在相关半导体大厂以及相关LCD龙头的公司都已经装设并有效提供使用者改善的对策。

另外蔡教授也采用本方法针对排放到大气中的颗粒(PM2.5)与气体成分进行24小时的监测。另外志尚仪器也提供客户除了光腔衰荡光谱(CRDS)分析仪外的另一选择「光声光频」分析仪(PAS)可针对许多特气中的不纯物气体进行分析。此外志尚也提供RGA在线质谱系统以及在线型ppb级总有机性气体(TVOC)等解决方案；也会展出高科技厂房常用的工安环保及IAQ等相关设备。

最新「无放射源」IMS分析仪 符合SEMI IRDS Roadmap微污染分析

在SEMI IRDS Roadmap中所建议半导体厂中侦测AMC的分析方法为PPWD-IC、IMS、PAS、CRDS、PID、APIMS等，而IMS技术为目前最常用的监测方式，主要在于其价格相对较低与操作简易，但是以往客户都会因为使用了含有镍63或是氚等放射性元素造成使用上有着不少的限制，因此近年来志尚仪器一直努力不懈的与国外做相关技术的交流。

目前已经成功的开发出最新一代的离子电泳分析仪(IMS)，其设计纳入了前几代的优点：可以使用空气做为Dopant外也可以采用化学Dopant，另外在电路上也采可以交换正负极的方式一机可分别侦测酸硷两种气体，并且使用空气为电荷供应源时可以同时量测多种酸性气体(HCl/Cl2/HF/H₂S/SO₂)；此外可加温的侦测器设计可以避免样品浓度过高造成污染。

最新高科技厂房排放管道在线酸硷气体暨PM 2.5质量及成份分析技术

志尚仪器在交大环工所蔡春进教授的指导下，成功将原本使用在AMC领域的PPWD(湿式平行板气液吸收器)用于排放管道中五酸一硷的侦测，也可经由SDEP/PILS进行微粒中化学成份的分析。

此外更与蔡教授合作发展新型的排放管道PM2.5光学式在线连续监控系统，针对高科技厂房中因为酸硷气体与高湿度造成光学系统的不准度设计特殊的前处理设备，更使用Beta-Gauge做双重验证确认数值准确度。

此外近来更合作开发相关PM2.5及气胶微粒采样设备，回收率可达95%以上，与之前的Denuder合体可以同时且有效的针对酸硷排放管道气体及PM2.5微粒样品进行成分分析；目前并成功与林口电厂合作监测上下游排放 PM2.5与大气的成分。

防止地球气候继续暖化 志尚提供相关温室气体分析仪

由于温室气体效应造成地球持续暖化现象，温室气体的排放为现在高科技厂房重中之重的课题，志尚仪器代理国外知名的温室气体分析仪以光腔衰荡光谱(CRDS)与光声光频光谱(PAS)两种技术，提供高科技厂房相关客户高准确性或是高C/P值的温室气体分析技术，侦测极限低、准确性高，目前部分已装设在台湾环保署的相关测站中， 提供甲烷(CH₄)、一氧化碳(CO)、二氧化碳(CO₂)、一氧化二氮(N₂O)等温室气体。

如需进一步志尚产品信息，请上官网查询，或来电指教0800-000501，欢迎业界先进莅临会场参观指教，展示摊位号码：南港展览馆4楼L0208。