志尚仪器提供半导体最新纳米暨微污染分析及工安环保设备
- 李佳玲/台北
2017国际半导体展会,志尚仪器将于现场特别展示相关半导体方面分析仪器设备,除了以往展出符合Semi ITRS 2015 Guide Roadmap 中符合AMC Method的在线酸硷排放暨AMC分析系统(PWPD-IC)以及最新的离子电泳分析仪(IMS)与光声光频光谱(PAS)分析仪外,2017年更将展出新代理日本Kanomax FMT公司所生产符合SEMI C79-0113及C93-0217 Guide可量测20nm以下的纳米微粒计数器(sTPC & LNS)。
除了可作为超纯水(UPW)的在线监控设备,另外也特别针对CMP(研磨机)所使用的Slurry粒径分布量测提供完全新设计的LNS 系列;对于极低浓度或是真空腔中的微量气体,志尚提供RGA在线质谱系统以及在线型ppb级总有机性气体(TVOC)等解决方案;此外也会展出高科技厂房常用的工安环保(IAQ)相关设备。
打破20nm极限 可量测10nm以下液态微粒子
2017年对于志尚仪器而言期待能更进一步再创另一个新的里程碑,志尚仪器所推出世界唯一突破20纳米极限使用于高科技厂房中超纯水使用的超微细粒子计数器(sTPC),专利的雾化器(Nebulizer)系统可将UPW或是Slurry超微细颗粒有效并结合Fast CPC的技术一举突破光学粒子计数器20nm的极限。
而2017年年中新推出的LNS系统更是除了UPW外更针对CMP制程中的Slurry颗粒分布进行在线监控,量测粒径范围可以由5nm?600nm,分析时间也可大幅缩短。
SEMI ITRS 2015 Roadmap 微污染分析志尚提供完整分析设备
在 SEMI ITRS 2015 Roadmap中明订PPWD-IC、IMS、PAS、CRDS、PID均为半导体厂中侦测AMC的建议方法, 因此志尚仪器除了之前与国立交通大学蔡春进教授的所进行技术合作,并成功将蔡教授的Denuder技术进行商业化改良,并与ISO 17025实验室结合,已经成功开发出新一代的AMC分析仪(PPWD-IC),该品项也荣获国家玉山奖的肯定。
近来更合作开发相关纳米微粒采样设备,回收率可达95%以上,与之前的Denuder合体可以同时且有效的采取气体及纳米微粒样品进行成分分析。
另外,也扩大与国外的技术交流,成功的开发出第三代的离子电泳分析仪(IMS),其设计除了舍弃传统的化学Dopant外,也采用较低放射性的氚作为游离源,不仅可以侦测酸硷两种气体,而且可以同时量测多种酸硷性气体。
此外可加温的侦测器设计可以避免样品浓度过高造成污染,另外因为不使用Chemical Dopant,因此也不会有如一些厂家在使用时因Dopant气体与空气中其他气体反应形成结晶造成侦测器的污染;此外最近也取得最新的光声光频技术(PAS)可以同时量测高科技厂房内的Ammonia与HF及HCl等重要气体。
志尚提供最新的GED/GPD气体扩散采样技术
此外更针对高科技厂房中所使用的Dopant Gases或Bulk Gases中可能隐藏的气态或纳米颗粒等不纯物(重金属气体)志尚也提供最新的GED/GPD气体采样技术,经由微粒化后可以直接将样品通入ICP-Mass作相关的不纯物分析,分析下限可达5 ppt对于Dopant Gases或是 Bulk Gases部分的不纯物部分。
志尚仪器自1990年成立至今,已从一个单纯气体分析仪器代理商的角色,提升为气体分析仪器制造商及系统统合商(Turn-Key Solution),现今又正式成立研发制造部门,正式踏足研发制造领域,成为具备由仪器谘询→研发制造→仪器销售→系统整合→分析校正服务→仪器租赁,提供客户完整治标暨治本的解决方案。
成立至今为了不断的追求品质目标以提供客户最佳的售后服务,不仅通过ISO9001:2008认证,之后又先后成立ISO 17025认证暨TAF第1936号气体流率(Flow Rate)与气体侦测器(Gases Monitor)校正实验室,以提供客户最优质的气体流量计或校正器之校正,与可燃性/毒性气体侦测之校正服务,以及全台第一家微污染气体分析实验室(AMC Lab.)可提供客户有关洁净室内酸硷气体及有机气体的采样分析,品质可达ISO 17025等级。
目前志尚仪器也希望朝着本土化生产高端气体分析仪器之目标不断的提升自我能力,除了产品已取得CE相关认证部分,零组件也申请台、中、美的专利,现今不但多项设备获相关半导体业界或传统石化业界暨研究单位陆续采用中,另外也已经成功外销相关高端气体分析仪器至欧美等国。
如需进一步志尚产品信息,请上官网查询,或来电指教 0800-000501,欢迎业界先进莅临会场参观指教,展示摊位号码:南港展览馆4楼N188。
- SEMICON Taiwan 2017登场 聚焦IoT、AI、智能制造、智能汽车、智能医疗五大应用
- 台积电冲锋陷阵拼7纳米制程 半导体设备商忙递弹药
- KLA-Tencor瞄准EUV市场 进军空白光罩检测
- 热点缺陷的检测和管理
- 半导体封测新里程碑 异质整合、跨界特色蔚为趋势
- 深耕台湾市场 爱德万测试举办系列活动迎接物联网新时代
- AI时代SiP成封测业抢滩主力 2.5/3D IC封装成菁英
- 弘塑科技(GPTC)湿式半导体量产型设备最佳解决方案
- SEMICON Taiwan国际半导体展盛大登场
- 循环经济蓄势待发 创新科技让废弃物变成资源物
- 探讨半导体新制程 Adwill提供全方位封装制程技术
- 看好IoT测试商机 Aemulus以创新技术竞逐ATE市场
- 泛铨积极布局TEM 强化半导体先进制程分析能量
- 大陆IC设计战力提升 晶圆生产、封测尚待努力
- 提高半导体良率 水洗制程至关重要
- 物联网商机迸发 LPWAN芯片现身
- 闳康全方位检测 助半导体厂推进新产品与新制程
- 信越Polymer完成策略投资密科博 导入产品量产
- 亿力鑫推出颠覆过往制程的新制程设备
- 元利盛推出FOWLP/FOPLP Under Fill封装制程对应方案
- 均豪打造智能机械平台 推动智能制造
- 穿戴装置吹起轻薄风 带动封测技术大进化
- 志尚仪器提供半导体最新纳米暨微污染分析及工安环保设备
- 技术与材料优化 半导体制程超越物理线宽极限
- IC测试另辟新径:发挥PXI平台优势
- BROOKS AUTOMATION的创新与智能
- 突破摩尔定律有道 晶圆代工产业成长中
- igus易格斯现开发独特蜂巢状去应力产品
- DISCO发表最新先进封装制程的雷射技术解决方案
- Aerotech于SEMICON展出超精密运动控制设备
- 宜特擅于深入解读规范 拟定有效测试计划
- ENTEGRIS扩大整合台湾技术研发中心
- 海德汉高精度产品于SEMICON展出
- 与科林研发一同参与SEMICON Taiwan
- 帆宣设备预诊断系统让生产不中断
- BTU推出最新TrueFlat回流焊炉技术 晶粒倾斜解决方案
- ABB Ability工业数码化方案 在台首发
- 永光电化事业20周年 深耕碳化矽半导体元件专用研磨液
- 奇鼎精耕微影制程设备维护服务 提升黄光制程良率
- 精测首次加入SEMICON 力拱高端垂直探针卡
- 创新RF测试技术 因应IoT与工业4.0时代
- Aerotech推出新型六轴定位系统
- Aerotech于SEMICON展出纳米定位与超精密位移设备
- Adwill相信未来 伴您一同探讨半导体新制程
- Indium高可靠度低温焊料 瞄准车用电子的应用
- Aemulus崭露头角 展示最新RF测试技术
- 提供传动应用最佳效能 银泰推出最新滚珠花键产品