Aerotech于SEMICON展出超精密运动控制设备

Aerotech于台北国际半导体展展出SMP超精密量测平台与纳米定位设备。

集成电路让智能手机等电子装置得以运作，物联网则为提升人类生产效率与降低成本的重要趋势，除了摩尔定律逐渐达到物理极限外，先进封装技术在半导体产业也在这几年开花，包含2.5D、3DIC等。

半导体制程跨入纳米等级的时代，变成越来越大的技术瓶颈与障碍，因此，纳米定位与超精密位移技术，成为半导体产业中许多设备商均深入研究的重要技术。

美商艾罗德克有限公司(Aerotech)，长期专心致力于运动控制(Motion Control)技术，以及纳米定位控制技术的开发与应用，是世界知名的高精密制程所采用运动系统的重要供应商，对于提供符合现今半导体、显示面板产业或生物科技制程设备所需要的严苛技术规格与产能需求，有长久的口碑。

Aerotech本身的运动控制与多轴定位平台子系统可以达到纳米等级的动态定位精度、几何公差与强韧的热稳定性，并且广泛的应用于包括晶圆平台(Wafer Stage)设计、晶圆检查与侦测、CD-SEM、TEM、步进式微影、白光干涉、先进晶圆级封装等制程机台上。

专注于高精密度纳米等级位移与运动控制技术的开发

于2017年台北国际半导体展中，Aerotech针对数种关键制程所需要的运动控制技术进行一系列的展示，于全台湾首次展出的SMP平台，其为一套超精密表面量测平台，可以搭配各式接触式与非接触式量测设备，除了达到纳米级精度外，其独特的机构设计相对于直角坐标系系统而言，可以提升产能40%。

第二大主题为压电平台，Aerotech在过去数年，已经被视为是新一代的高性能压电产品指标厂商，在 Global Nano Positioning Systems Market分析中，Aerotech被列为是世界上四大纳米定位系统供应商之一，四大供应商总共占据约75%市占率。

压电平台可以具备次纳米级的微调整能力与纳米级的重复定位精度，甚至其可以达到极高的带宽，可应用于各种光学量测、对焦与纳米制程等。

最后，Aerotech的PlanarDLA精密中空平台产品，则为市场上同类型产品中，具备最高性能的中空平台，包含杰出的几何精度、2D定位精度、动态直线度，以及具备高加速度等能力，已经成功解决许多半导体制程中的瓶颈，为半导体产业中不可或缺的产品。

Aerotech于2017年台北国际半导体展之摊位号码：868，欢迎对于提升制程良率或产能之制程开发者，设备开发者，与有兴趣的先进参观。