海德汉高精度产品于SEMICON展出

2017年度的SEMICON TAIWAN，海德汉展出海德汉集团一系列的高精度产品：海德汉开放式光学尺与模块式角度编码器、NUMERIK JENA与RSF的开放式光学尺。现场还展出ETEL高精密运动平台Vulcano，现场一睹ETEL高速运动控制系统的极佳制振功能。

2017年海德汉特别展出超高精度的LIP6000开放式光学尺，承袭LIP系列的极佳安装尺寸及较低干扰准位之特色，非常适用于半导体制造、量测与高精度极微小型的生产加工。在必须高速控制同时又具备准确位置稳定性条件的机台设备中，海德汉的光学尺LIP系列即为机台中不可或缺的一部分。

模块式角度编码器MRP8000系列为角度编码器与高精度轴承的最佳化整合方案。海德汉已完成必要的组装与精度调整，这不仅简化了安装的过程，同时还拉高了模块的精度，可确保MRP系列在应用中达到机台指定的位置要求。其高分辨率与高重复定位精度的特色特别适合应用于高度精密电子量测仪器。

RSF的增量式光学尺MS15独特光学设计与安装容许误差较大的特色，降低了对污染的敏感度。此一系列采用独特的扫描原理，允许高速度达10m/s。同时内建左右极限及原点信号输出，让使用者能感受到机台运动状态的稳定性。

Numerik Jena的增量式光学尺LIK与增量式旋转编码器RIK系列，轻薄短小特色适用于各种电子与半导体应用以及有限设备空间。客户也可依设备需求选择真空的版本。

ETEL推出Vulcano XY精密运动平台适合用于晶圆的前制程段，像是微影堆叠量测技术、关键尺寸以及薄膜量测等等。机械轴承的设计在XY平面与垂直方向提供极高刚性、允许高加减速度(可达2.5g)、最高速度(可达1.5m/s)、优异的双向重复精度(X轴与Y轴：±350nm)以及纳米等级的定位稳定性。Vulcano内建高速高精度控制器AccurET与主动式制振平台QuiET，能大幅增强精密运动性能，适合应用于纳米等级的量测机台。

ETEL的力量控制系统结合高负载周期、高动态特性、绝佳精度与短分度时间的分度工作台RTMBi与在最佳化尺寸空间下提供高生产量、高寿命以及高精度的力量控制短行程致动器Tucana。海德汉于2017年SEMICON TAIWAN展出，摊位于1楼德国馆(J2708)，欢迎莅临。