Aerotech于SEMICON展出纳米定位与超精密位移设备

集成电路让智能手机等电子装置得以运作，随着宰制半导体制程演进的摩尔定律的预测失效后，半导体制程跨入纳米等级的时代，变成越来越大的技术瓶颈与障碍，因此，纳米定位与超精密位移技术，成为半导体产业中许多设备商均深入研究的重要技术。

美商艾罗德克有限公司(Aerotech)，长期专心致力于运动控制(Motion Control)技术，以及纳米定位控制技术的开发与应用，是知名的高精密制程所采用运动系统的重要供应商，对于提供符合现今半导体、显示面板产业或生物科技制程设备所需要的严苛技术规格与产能需求，有长久的口碑，Aerotech本身的运动控制与多轴定位平台子系统可以达到纳米等级的动态定位精度、几何公差与强韧的热稳定性，并且广泛的应用于包括晶圆平台(Wafer Stage)设计、晶圆检查与侦测、CD-SEM、TEM、步进式微影、白光干涉、先进晶圆级封装等制程机台上。

专注于高精密度纳米等级位移与运动控制技术的开发

于2017年台北国际半导体展中， Aerotech针对数种关键制程所需要的运动控制技术进行一系列的展示，展出主题包含三大主题：SMP(Surface Measurement Platform)表面量测平台，此平台为专为光学镜片、球面、非球面，与圆柱结构等物件的超精密量测，除了具备纳米级的精密度外，特殊机械结构设计可减少传统三次元量床所需的大量直线位移，进而提升量测速度达40%，第二大主题为PlanarDLA中空平台，此平台为类似产品中，为一具备次微米等级性能的超高性能中空平台，双马达驱动达到极高的产能，本产品已经被许多客户导入他们的机械设备中做为其制程核心。

第三大主题为压电平台，Aerotech在过去数年，已经被视为是新一代的高性能压电产品指标厂商，在Global Nano Positioning Systems Market分析中，Aerotech被列为是世界上四大纳米定位系统供应商之一，四大供应商总共占据约75%市占率。压电平台可以具备次纳米级的微调整能力与纳米级的重复定位精度，甚至其可以达到极高的带宽，可应用于各种光学量测，对焦，与纳米制程等。Aerotech于2017年台北国际半导体展之摊位号码为868，欢迎莅临参观。