EUV成先进制程显学 韩厂投入力拼本土化
- 范维君／综合报导
三星电子（Samsung Electronics）2纳米制程的极紫外光（EUV）层增约30%以上。只要半导体微缩持续进行，无论先进制程或DRAM生产，EUV使用量预测将持续增加。韩媒Theelec报导，三星2纳米制程的EUV层数约...
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