Lintec新CNT光罩护膜样本出货 与三井化学展开竞争
- 江仁杰／综合报导
日本材料与设备厂Lintec制作的新型光罩护膜（Pellicle）样品已开始出货，专门针对极紫外光（EUV）制程，质料是纳米碳管（CNT），目标2025年量产。三井化学（Mitsui Chemicals）也将在1~2年内产线完工并投产。生成式AI（Genera...
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