科技1分钟：相位移光罩（PSM）
- 许经仪
相位移光罩（Phase-Shift Mask；PSM）为半导体微影制程使用的光罩之一，由David Levenson博士于1980年代初期在IBM研发而出的成果。核心原理是在光罩上额外加入...
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