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台积电降EUV碳排成绿电总司令 传绿氢产业链将现踪?

  • 黄女瑛台北

半导体代工厂台积电对其供应商设立到2030年节能目标,使台湾绿电大队整军待发,其中市场也同步传出,晶圆代工高端制程中的光蚀刻制程(EUV)因为耗氢量大、产生不少二氧...

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