Canon KrF扫描式曝光机睽违14年大更新 吞吐量冲高3成剑指ASML
- 江仁杰／综合报导
日本Canon宣布将于2026年12月上旬推出氟化氪（KrF）扫描式曝光设备。生成式AI带动的半导体多层结构，导致的晶圆翘曲和变形现象显着，该项新设备能够处理翘曲严重的...
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