Imec推进可扩展超导技术 实现3ML NbTiN电路、内连线缩至30纳米
- 陈玉娟／台北
比利时微电子研究中心（Imec）于2026年应用超导会议（Applied Superconductivity Conference）展示两项超导技术突破，包括全球首款三层金属层（3ML）氮化铌钛（...
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