英特尔High-NA EUV量产逾百万片 携ASML推进6×12寸光罩
- 陈玉娟/新竹
英特尔晶圆代工(Intel Foundry;IF)部门持续加速高数值孔径极紫外光(High-NA EUV)技术导入量产,并与ASML携手推动下一阶段光罩规格升级。英...
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