台积嫌贵　ASML急推试用？ High NA EUV传大打折　9月抵台

继英特尔（Intel）抢先于2024年4月宣布完成业界首台High NA EUV微影设备组装后，台积电竹科据点也将在9月底前迎来首台要价约3.5亿欧元（约新台币126亿元）新机，较外界所猜测的年底时间点约提前一季。

值得一提的是，台积电副共同营运长张晓强先前曾公开表示：「我喜欢High-NA EUV的效能，但价格实在太贵了。」

然据了解，随着先进制程技术不断推进，并与对手群拉开差距，超级VIP台积电面对供应链与客户的议价、供货能力不断拉升，首部抵台的High NA EUV微影设备价格远低于3.5亿欧元。

台积电之所以可以享受折扣，主要是ASML明显让步，全力协助台积电进机、调校与技术支持等，加速上线时间点，也就是此台主要目的为台积电「试用」。ASML对此则表示，不评论单一客户

供应链表示，张晓强已直言A16制程不会采用High NA EUV，依内部暂定目标来看，最快在改良升级版的A14P时代采用，之后的A10与更先进时代则会全面导入，显着改善先进制程技术成本与效能。

英特尔、三星电子（Samsung Electronics）与台积电三方交火，2厂皆力图以High NA EUV设备抢先导入或拉升先进封装技术等各种方法抢食台积电手上订单。

其中，英特尔砸下重金率先购入天价High NA EUV设备，于2024年4月抢先宣布位于美国俄勒冈州希尔斯伯勒的英特尔研发基地中，研发人员已完成业界首台High NA EUV组装。

此台由ASML供应的EXE:5000微影设备，将开始进行多项校准步骤，预计于2027年启用、率先用于Intel 14A制程，此设备将投影印刷成像到晶圆的光学设计进行改造，明显提升下时代处理器的图像分辨率和尺寸缩放。

但英特尔近来却陷入成立以来最大危机，设计产品与晶圆制造部门兄弟爬山各自努力，新一代NB、DT平台全面采用台积电3纳米制程，致使晶圆制造部门面临拆分、出售声浪，先前抢下High NA EUV设备入手头香的气势明显降温，是否减缓先进制程技术推进与建厂规模，才是各方首要关注焦点。

英特尔陷入乱流，而三星接单不明，能吃得下多少台High NA EUV设备，ASML也难掌握，台积电对于先进制程推进老神在在旁边观战，让国内销售受到箝制的ASML相当心急。

据供应链表示，不急的客户最大，台积电掌控绝对市占优势与话语权，也是至今EUV设备下单量最多的客户，随着半导景气逐步复苏，3纳米产能满载与预计2025年第4季量产的2纳米制程客户订单陆续落袋，已重启EUV设备拉货动能，估计此波新单规模约达70台，既有EUV等新机采购量，再加上应是High NA EUV最大客户，台积电握有议价优势。

5月下旬台积电董事长魏哲家与经营团队前往荷兰总部拜访ASML、蔡司等供应链的消息主动曝光，据了解，台积电与ASML已就High NA EUV采购取得最后共识。

双方谈判的内容包括：首台High NA EUV设备大砍价成功，且ASML所提供的技术人员教育、后续维修、零组件更换等各项条件与支持度也是再拉升，共同研发费用比重大幅增加。

ASML希望能助力台积电加速制程推进，加快High NA EUV采购计划上路，目前预计在9月底前陆续送抵台积电竹科研发中心，让台积电赶快「试用」。

值得一提的是，此一浩大工程已让台积电着手研拟运送时间、路线，相关运送厂商、保费业绩大进补。

此外，ASML也持续扩大投资台湾，林口园区新厂正加速进行中，包含无尘室生产工厂、办公室、研发中心及物流仓储，为ASML在台最大规模投资案。

ASML就近服务台积电，也让供应链雨露均沾，如洋基工程就拿下ASML林口新厂统包工程，包含机电及土木工程，总金额近新台币100亿元，而家登、帆宣、公准及泛铨等众多合作夥伴也跟着订单落袋。

 

责任编辑：陈奭璁