中国中科院EUV技术新突破 成功建立光源实验平台
- 谢生辉／台北
在全球半导体产业格局因技术封锁与地缘竞争而日趋复杂之际，中国科研重大领域再传捷报。近日，中国科学院上海光学精密机械研究所（简称上海光机所）宣布，在极紫外光（EUV）曝光关键技术取得重大突破，已成功建立EUV光源实验平台，为中国摆脱半导体领域「卡脖子」往前再...
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