业界首创压电技术大显身手

在半导体制程，Festo根据客户的具体需求进行「量身定制」，提供基于气动或电动控制的整体高效定制化解决方案。Festo

在刚落幕的半导体展中，Festo以最新的产品和解决方案，引起了广泛的关注和赞赏。半导体相关业者，不仅与Festo进行了深入的交流，也对技术和创新能力给予高度评价。

半导体做为高端制造业的代表，对自动化技术的需求是快速更迭、精益求精。Festo凭藉在多个领域的丰富经验，不仅在半导体产业，也包括新能源汽车产业、电子和组装、太阳能、生物技术和制药、化学、水处理、食品和包装产业以及医疗技术和实验室自动化等，正透过气动加电动自动化技术的组合，为全球半导体制造业发展赋能。

台湾区总监吕瑞丰表示，在全球的半导体先进制程与先进封装技术，台湾处于领先全球的地位，传统的气动技术已经难以符合高端制造的要求。而Festo创新的气动控制技术能够为先进制程各种典型的应用来实现升级。我们根据前段制程设备提供「量身定制」的定制化解决方案。在先进封装，则提供了许多标准化产品，在die bonding, heat-sink, thermal/pressure oven, micro dispensing, lamination…等制程中来达成精细的流量、压力与位置的控制。

能够为半导体制造提供先进的气动控制技术，主要的关键是来自于Festo独特的压电阀技术（Piezo valve technology）的优势。例如， 压电阀在控制上表现得非常精准、响应极快、非常节能、不发热、没有噪音、没有磨擦、寿命极长，以上特点非常适合使用于先进的半导体制造，也开创了全新的气动应用领域。

目前，Festo在slit valve/transfer valve的解决方案已经实现了在不影响Through-put的情况下， 达到大幅度的减震（vibration reduction），并且已经得到先进半导体客户的认证。另外， 在ISO valve 的开关控制， Festo的比例控制技术可以抑制扬尘的发生，这也替半导体客户解决在设备中，以往透过传统的气动技术无法克服的问题。吕瑞丰并透露，Festo的优势在于深入了解客户应用上的痛点，进而透过先进的气动控制技术作为自动化解决方案提供者（Automation solution provider），而不仅是单纯的自动化元件商。

Festo还推出了全新一代气电融合自动化控制平台VTUX阀岛，采用高性能轻量化材料与创新结构设计，适应各种智能制造场景，并具有高度灵活模块化和兼容各种通讯协议的特点。

身为自动化技术和技术培训领域的世界领先供应商，Festo成立了一个专门的半导体产业团队，从研发、生产到销售，充分确保创新能力，快速回应台湾半导体市场的需求。不断创新、高效、可靠的自动化解决方案，是Festo立足半导体产业的关键能力。