High-NA EUV接班人浮现　ASML Hyper NA挑战5纳米单次曝光

ASML与光学合作夥伴蔡司（Zeiss）的工程师团队，近日于学术期刊《Journal of Micro/Nanopatterning, Materials and Metrology》10月号共同发表研究论文，正式揭露...

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ASML 蔡司 5纳米 EUV