中国EUV光源原型机亮相 90%零组件国产化、商用仍待突破
- 徐畇融／综合外电
中国半导体设备新创朗道燧岩（上海）科技有限公司（简称朗道科技）日前公开一台极紫外光（EUV）光源机的原型机FlintNano LPP-OXXO。EUV光源机在先进微影系统设...
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