台积电暂缓High NA EUV量产 ASML罕开实验室推销
- 梁燕蕙／综合报导
台积电业务开发暨全球销售资深副总裁张晓强近来重申，台积电「不急着」采High NA EUV曝光机量产先进制程，再次引发外界对于ASML新一代重磅微影设备的好奇。据ASML介绍，制造一台 High NA EUV曝光机需经历多次进出...
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