中国曝光机燃眉之急 浸润式卡关、先进制程走不通
- 梁燕蕙／综合报导
微影设备曝光机由数万个零组件构成，可说是供应链各环节顶尖公司通力合作的成果。曝光机制造难度很高，以一台ASML EUV曝光机为例，由来自全球近800家供应商的多个模块和数十万个零件组成，每个模块在ASML遍布全球的工厂中生产，再运往荷兰总部组装。
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