中国曝光机燃眉之急　浸润式卡关、先进制程走不通

微影设备曝光机由数万个零组件构成，可说是供应链各环节顶尖公司通力合作的成果。曝光机制造难度很高，以一台ASML EUV曝光机为例，由来自全球近800家供应商的多个模...

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议题精选－中国官宣本土曝光机