技术与服务兼具 上海新阳挥军3D封装

上海新阳半导体材料公司副总经理智文艳。

随着3D IC先进封装技术在半导体产业的蓬勃发展，全球半导体材料近年来也在快速成长，新材料、新技术不断涌现，引领技术创新的高潮。亚洲正逐渐成为全球半导体产业的技术和市场核心，由大陆与台湾所形成的「大中华市场」，让彼此之间有着相当频繁的交流。

2014年9月上海新阳半导体材料股份有限公司作为大陆知名半导体材料核心应用技术供应商，继2013年参加SEMICON Taiwan 2013后，今年应邀独立参展。

今年恰逢上海新阳成立15周年、上市3周年，经过市场的历练，上海新阳现有员工240余人，拥有国内外专利与授权专利合计共104项，和两大核心技术——电子电镀与电子清洗，并先后开发研制出四大系列100多种电子化学品与30多种配套设备产品，形成完整的技术体系和丰富的产品系列，其中用于晶圆电镀高纯铜电镀液和添加剂系列产品，达到世界领先水准。

在过去的一年，上海新阳在大陆取得了丰硕的成果，两个核心技术均有里程碑的进步。Damascene VMS成功进入中芯国际上海厂？北京厂的中央供应系统，同年成为韩系存储器大厂合格供方。在技术方面，凭藉自主创新的理念，前后开发出超高速凸点电镀技术(镀速可达到每分钟6~8微米)，此项技术具有高可靠性、高产出的特点，为目前的穿戴技术提供更好的互连解决方案。

在乾法蚀刻后清洗方面，无论是铝制程(90nm以上工艺)还是铜制程(90nm以下工艺)，均打破了国际垄断的局面，获得大陆半导体厂商的高度认可，引领半导体材料市场新风潮。在配套设备开发方面，划片刀的成功开发也打破了国外划片刀的垄断，凭藉过硬的技术力量和完善的产品应用工艺，赢得了客户的认可和行业的认同。

全自动单片式清洗？电镀机台让上海新阳设备成功跨越到更为先进、技术更为苛刻的半导体前道制程，验证了「一切皆有可能」的事实。有恒心、有信心一切都可以实现，上海新阳就是一个让他人认为没有可能的事变成可能的创新型应用技术型企业。正是凭藉「技术、品质、服务、合作」四大核心价值理念，上海新阳不断发展进步，赢得市场与行业的认可，更获得大陆「02」国家重大专项的青睐，成为本土半导体材料优质供应商。

从封装测试到半导体制程

上海新阳半导体材料公司副总经理智文艳表示，上海新阳是一间极具技术能力的半导体材料供应商，为了能进一步扩大市场触角，希望进一步从封测领域垂直向上，往半导体制程与晶圆级封装领域迈进，而这意味着上海新阳的产品线更为完整而丰富。

由于大陆与台湾在地理位置的关系，上海新阳与全球晶圆代工的领导业者有相当密切的配合。智文艳分析，台湾在全球半导体市场具有相当指标性的地位，在先进制程方面居于领先的位置，而这几年相当火热的话题——穿戴技术及3D IC封装技术，是台湾半导体产业十分关切的议题，随着这几年的发展，业者们都有明显而殷切的需求，在品质的要求上也比过往严格许多。上海新阳以此为契机，开发出TSV填充技术，Bumping Copper Pillar高速电镀铜技术，并成功实现量产，打破原有竞争对手的垄断地位，在品质和运行成本上为客户提供更为优异的解决方案。

提升产能  需从新式半导体材料下手

从半导体制程的角度切入，要提升产能的做法，不外乎是从扩大产线与采用新式材料两种面向来着手。但智文艳认为，前者的作法需要投资相当大量的资金，门槛相对较高；后者的成本就相对较低，若能在不增加成本的前提下来提升量产速度，是较为经济的选择。若是采用上海新阳旗下MSA体系的甲基磺酸铜，就有机会达成这样的效果。她坦言，全球半导体材料的供应商大多由美日两大阵营所垄断，上海新阳的确有能力、有信心打破这样的局面。

技术领先  指标客户动作频频

市面上现有的存储器三大阵营的确在3D IC上投入不少心力。智文艳不讳言，韩系、日系、美系半导体制程大厂均有与上海新阳接洽，许多业者已经不止一次从总部派员过来考察上海新阳在3D IC方面的材料技术，显见该业者高层对于上海新阳的高度重视。

而全球晶圆代工领域的指标性业者近期也向上海新阳提出材料上线测试的要求，封测大厂也将于今年针对上海新阳所提供的高速电镀铜材料进行测试，这些案例都证明了上海新阳虽然是大陆业者，但已经开始获得国际一线半导体大厂的注意甚至是青睐。

以服务为优先  开拓多样合作模式

智文艳进一步谈到，上海新阳是一家应用技术为导向的公司，清晰地了解技术服务的重要性。向客户提供完善的技术支持和协助客户完成成本控制、品质提升，是上海新阳持续秉承的理念。

「一站式」(one-stop shop)解决方案成为上海新阳的品牌，从工艺出发，开发更适合客户应用的设备，让客户没有后顾之忧。在物流管理方面，透过ERP系统的协助，来达到高效率与实时送达的目标，在最短时间内满足客户需求。在产品品质上，采用SPC过程控制，确保电子材料的连续、均一、稳定性不受影响。再者，上海新阳旗下亦有强大的分析检测团队和先进分析检测仪器，可以在第一时间协助客户进行失效分析和产品检测。正是这种个性化的服务，赢得客户的信赖与支持，像是封测龙头日月光大陆厂与上海新阳合作时间已达8年之久。

着眼未来  完善产业布局

集成电路产业历来受到大陆的高度重视，《集成电路产业「十二五」发展规划》、《「十二五」国家战略性新兴产业发展规划》等国家战略性计划为大陆半导体行业发展奠定了扎实的基础。上海新阳正处在大陆集成电路发展的最佳时期，依赖上市企业金融市场的优势，着眼未来开始进行产业布局。

2014年初投资了300mm大硅片专案——300mm半导体硅片是大陆半导体产业链上严重缺失的一环，长期以来一直依赖进口。从国家发展战略和安全战略上考虑，上海新阳必将再次填补大陆半导体核心材料的空白，为大陆半导体产业硅片供应的安全性及产业链的完整和稳定性，注入新的活力和动力。上海新阳正用自己的点滴移动来实现自己的企业梦和大陆半导体行业梦。

上海新阳也获得SEMICON Taiwan 2014的邀请，担任半导体系列论坛的重要演讲厂商之一，题目为「Process Control for TSV Electroplating」，将由上海新阳的王溯博士演说。诚挚邀请业界人士至上海新阳的展场摊位(南港展览馆摊位号码1006~1008)参观指教。

关于上海新阳产品技术，请至官网查询：http://www.sinyang.com.cn/