先进半导体封装玻璃解决方案
- 张琳一
近几年来,半导体业对于在3D集成电路应用上使用玻璃一事表现出极高的兴趣。
玻璃因拥有多项独特的特性,因此成为晶圆薄化制程里不可或缺的基板载具,且在2.5D/3D IC和RF应用上时,也可当作穿孔玻璃(TGV)基板材料。以玻璃为基础的解决方案可使客户拥有极大的优势,其优点为可规模经济量产、基板厚度可设计化,加上可调整的热膨胀系数(CTE)和电子特性。
康宁玻璃基板
康宁公司是全球顶尖材料科学创新公司之一,在逾160年间提出多项玻璃解决方案,包括用于电子应用方面的液晶显示器(LCD)基板,以及用于电视机、智能手机和平板电脑等消费性电子装置,极为耐用的保护玻璃。
熔融制程为康宁的专利创新技术核心。这项高度精准且自动化的熔融下拉制程,生产出表面极为纯净光滑又平坦,且尺寸稳定的玻璃基板——这刚好是3D IC基板所要求的特性。
在熔融制程里,玻璃溢出槽两侧的边缘后,会在下方再次凝合后形成单片玻璃。在形成的过程中玻璃的外侧表面并未接触到其他物质,而有极为纯净的品质。
玻璃的性能表现和成本优势
制造矽通孔载板在成本和电性表现上有很大的挑战,因此使得玻璃成为具吸引力和可行的解决方案。
矽通孔载板面临的挑战之一,即为在组装和使用时因热形变造成的载板卷曲情况,主因为CTE不相符的情况,这会成为材料在可靠性评估上的一大考量。相较于矽,玻璃的一大优势即为CTE的可调性,此可改善晶圆叠层时所造成的卷曲情况。玻璃还有多项特性,像是低电耗损率、低介电常数和超高电阻率,使其成为理想的载板。
玻璃除在CTE和电性方面具优势外,封装解决方案也必须拥有成本效益。康宁的玻璃熔融成型技术,在品质、尺寸经济规模化等优点都可达到降低成本的目标。此成型制程不仅能生产出极纯净表面、低总厚度误差(TTV)和极佳的平坦度,还能生产出多种尺寸的玻璃,其厚度仅为100 μm。因此提供厚度可选择性的大尺寸晶圆或面板形式的TGV基板,即无需再进行抛光和削薄的程序,也就可再降低制造成本。
利用现有设备和制程
能够利用现有晶圆和面板设备制程是非常重要的一件事,盲孔填满金属化是最适用于现行以晶圆为基础的设备,而通孔金属化则最适合用于许多以面板为基础的制程。康宁已开发出制作高品质孔洞的先进制程,能在薄型(像是100μm)和厚型(例如700μm)玻璃上制作通孔和盲孔(请见图1)。
再者,康宁已与产业领导厂商进行密切合作,运用以晶圆与面板为基础的金属化方式来填充玻璃孔洞。TGV基板的填充方式与终端应用息息相关,成本、生产能力、导电性、密闭度等要求会影响到金属化的方式。因此康宁与产业多个单位合作,像是RTI、Atotech、i3 Electronics、工研院(ITRI)、Georgia Tech的封装研究中心等,证明出完整的金属化技术的适用性和可用性。此用来验证的玻璃基板芯片测试结果显示出,相对于矽基板,使用玻璃孔洞能达到更好的电性、热和可靠性表现(请见图2)。
利用面板相关制程来达到经济规模制造的能力,是另一项落实成本效益的重要因素。目前业界已有许多设备能被应用来制造面板形式的穿孔玻璃载板和其对应的电子元件,包括填孔步骤和微影制程。
日前康宁已与Rudolph Technologies、i3 Electronics与Atotech完成合作,证明出运用现有机台设备来制造面板形式的穿孔玻璃载板和其电子元件,包括填孔步骤和微影制程。RDL(Redistribution Layers)的结果显示出,能准确将金属镀在玻璃上(请见图3)。
结论
如同讨论的内容,玻璃在针对通孔载板、RF及其他应用方面可提供具成本效益的解决方案,且有庞大商机。因玻璃的电性、CTE等可调整的材料特性,加上康宁独特的成型技术,藉由规模经济和厚度可设计化来降低成本。
我们已进行许多动作来验证将玻璃当成载板基板的价值。康宁持续与供应链的合作夥伴密切合作,以运用现有业界设备机台和流程来制造穿孔玻璃载板、提升可靠性,并且和下游供应链一起开发与验证制程,让穿孔玻璃载板解决方案更接近商业化的程度。 (本文由康宁公司提供,记者张琳一整理)
- 琳得科展出半导体封装制程新提案
- 着眼建厂商机 SEMI全球首办厂房设施论坛
- 研华于国际半导体展展出智能化数据采集方案
- 技鼎于半导体展发表MEMS探针与探针卡技术
- DDR4、NAND Flash存储器芯片发展趋势
- 因应巨量数据需求之高密集运算芯片发展趋势
- 实现安全互联 企业联网将扭转营运观念
- 立端科技成立物联网平台事业群 宣示已为物联网时代做好准备
- AOI设备提升FPD、晶圆、PCB产业检测品质
- 铁电随机存取存储器具效能、低功耗与保密性
- 穿戴应用导入多传感器 兼顾低成本低功耗要求
- Entegris推出新型VaporSorbR化学滤网
- 巨沛展出下时代最先进机台、技术与材料
- TSV技术持续突破 可望提升3D IC异质架构应用
- 大陆政府加码投资半导体 太阳能产业进退两难
- 半导体资本支出连年扩张 SEMICON首办高科技厂房论坛
- EDA技术缩短集成电路开发、验证与上市时间
- 先进封装技术领头 材料设备商各擅其场
- 永光成功进入穿戴式产品供应链 供应关键光阻剂
- 思达推出整合性3D IC精密参数自动测试设备
- USHIO电机展出次时代Packaging曝光设备
- 奥宝携手SPTS成功跨足先进封装市场
- 铟泰科技推出超低残留免洗覆晶助焊剂
- 技术与服务兼具 上海新阳挥军3D封装
- 冲成公司代理3D IC制程相关精密量测设备
- 微影技术持续精进 半导体工业延续飞跃性成长
- 艾罗德克于国际半导体展展出最新产品
- 中勤发表多项半导体、清洗技术及无尘室建置
- 电子业新趋势尽在国际电子组件及生产技术展
- 志尚仪器荣获国家品牌玉山奖最佳产品类殊荣
- 元利盛半导体精密点胶及复合组立设备销售佳
- 铎骥代理半导体专用新一代手持测试器
- 先进半导体封装玻璃解决方案
- SEMICON Taiwan半导体产业巨星云聚高峰论坛
- 高科技永续发展论坛 引领绿色制造新契机
- 采购日、区域市场信息讲座 趋势商机一把抓
- MEMS、200mm制程技术论坛助产业再创黄金十年
- 半导体计划成果展 展现产业跃升动能
- Brewer Science将发表DSA潜力的新材料
- 辛耘企业 最佳的湿制程设备供应商夥伴
- 大陆半导体产业崛起 成设备厂不可忽视新力量
- 半导体厂闯先进制程 设备厂加速整合抢商机
- SEMICON Taiwan 2014登场 台湾蝉联全球半导体设备最大支出国
- SiP Global Summit、先进封装技术论坛 擘划封装产业新蓝图
- 移动设备处理器发展与3D封装技术趋势
- 意法半导体 揭露下一波MEMS应用发展趋势
- Moldex3D为IC封装打造完整设计平台
- 杰希优于国际半导体展 发表优异电镀技术
- NI半导体测试系统 开启ATE测试新未来
- Indium将在SEMICON Taiwan推独家新産品
- 上海新阳9/3-9/5半导体展 优异TSV镀铜技术登场
- 全功能网管套件 打通智能联网经脉
- 设备联网 进入工业物联网之敲砖石
- 呈睿国际推整合RF电浆电源与真空电容服务
- 琳得科持续与坚持的「创新、专业、进步」
- 美固态半导体设备WaferEtch获3D InCites