展绿科技SEMICON重磅登场　以AI建立制程行为模型引领半导体能源管理新思维

展绿产品具备的优势与特色，能够符合精密、大量与24小时连续生产的高端制造业需求。展绿科技

在全球半导体产业持续追求更高精度与更高良率的今天，每一次设备运转的细微变化，都可能是产线稳定与成本控制的关键。长期以来，能源监控系统被视为「节能工具」，但随着制程复杂度和能源品质要求的提升，单纯的节能已不足以应对半导体制造的挑战。

展绿科技（3Egreen）于2025年台湾国际半导体展宣布新定位，从能源监控方案提供者升级为半导体制程能源行为数据解码师。他们聚焦于扩大参数、提升量测精度及AI模型辅助，引领产业迈向能源可视化和制程优化新阶段。

为什麽半导体需要新的能源监控思维？

在晶圆厂的生产现场，一台关键制程设备的异常，可能意味着数百万美元的损失。不论是RTP（快速升温制程处理）、磊晶设备、蚀刻机、真空炉，还是陶瓷烧结炉，这些设备的运转稳定性都深受能源品质影响。电压微幅波动、瞬时谐波干扰、非预期的电流异常，都可能导致温度曲线偏差、制程参数漂移，最终影响良率。

传统能源监控系统往往存在三大痛点：首先是安装总成本高、施工时间长，需要布线、停机与改装，对产线运行影响甚钜；其次是监控深度不足，多数仅能监测到设备端（Level 4），难以深入子系统（Level 5）；最后则是数据孤岛化，秒级数据无法实时整合进制程系统，因而难以支持实时决策。

展绿科技的出现，正是为了突破这些限制，让能源数据不再只是纪录，而能真正成为制程优化的关键武器。

三大技术跃进  直击制程痛点

展绿针对半导体制造的需求，推出了三项核心技术升级：1. 扩大参数范围（Energy Meter、DC全覆盖）：半导体设备的供电规格多样，从高压交流电源到直流的特殊电路皆有应用。新一代展绿传感模块一样不需停机断电，可全面支持电压、电流、功因与谐波范围，确保在不同制程环境下皆能精准监测各项参数。

2. 提升量测精度（每秒一万次取样）：高速制程对能源品质的敏感度极高。展绿将取样频率提升至每秒10,000次，足以捕捉到毫秒级的能耗波动，从而揭露瞬间发生的电流冲击、电压衰减或谐波异常，让工程团队及时介入。

3. AI设备行为模型（结合NVIDIA设备）：展绿自研的AI行为模型能够实时分析能耗曲线、温度与负载变化，建立「设备健康档案」。透过与NVIDIA Jetson Nano的边缘运算能力结合，系统可在现场实时运算，提前发出异常预警，并建议维护时机，避免突发停机。

从节能到制程优化  展绿邀您SEMICON亲身体验

展绿科技此次展出的非侵入式能源监控方案，专为半导体厂区的高精度制程需求设计，具备不停机安装、无线传输与自动充电的特性，能在不影响产线运作的情况下快速部署。该方案结合灵活的传感技术与实时数据回传能力，协助客户以零中断的方式升级能源监控系统，并在短期内完成POC验证。

展绿科技透过智能钩表与传感模块的整合，为产线带来高效能、低干扰与快速落地的解决方案，清楚展现能源数据在半导体制程中的实时应用价值，并进一步支持企业在良率稳定、维护优化与能源管理上的升级。

展绿科技诚挚邀请所有参观者与合作夥伴于2025年9月10至12日，莅临SEMICON Taiwan展位（南港展览馆一馆，展绿科技 R7705 摊位），亲身体验最先进的能源数据监控技术，感受从节能走向制程最佳化的智能转型之路。

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