设备本土化的关键 – 超精密运动平台与控制系统

Aerotech于台北国际半导体展展出最新超精密运动平台与控制系统。

在半导体产业中，在多年来产官学研的努力下，许多厂商持续不断将许多制造设备进行本土化(Localization)，提升台湾半导体产业的价格竞争力，以及设计灵活度等，但对于高精度制程设备，许多台湾厂商们仍苦于难以达到半导体制程的精密度与产能需求，不论是前段制程，与后段的先进封装等等，在台湾半导体设备本土化中，有一关键技术对于未来提升设备的精度效能，相信能够扮演重要角色，也就是「超精密运动平台与控制系统」的技术。

美商艾罗德克有限公司(Aerotech)，多年来专心致力于运动控制系统开发与制造，客群遍布半导体，平面显示器，光通讯，雷射产业，以及各种研发单位，针对微米，次微米，至纳米等级定位系统进行开发与量产工作。除了移动平台的机构精度，几何公差，动态精度规格外，专心致力于将精密量测技术与运动平台制造技术结合，以确保产品的精密度可符合半导体检测制程，先进封装制程，以及各种雷射制程需求。

近年来更在次系统(Sub-system)的开发上，整合气浮轴承移动平台，花岗岩结构，以及主／被动式气浮防震系统等等，有大量的实绩，实际上协助海内外终端客户专心于制程开发，而运动机构与控制系统得以取得完整解决方案。

本次台北国际半导体展，Aerotech摊位号码为四楼N0380，展出气浮轴承运动平台，光通讯Automation1控制系统，六自由度史都华平台，超精密压电纳米移动平台，以及广泛应用于半导体产业的PlanarDL XY平台，艾罗德克公司表示，台湾设备业者的本土化瓶颈，在多年的努力后，仍时常遇到机台设备不容易达到精度需求的议题，但这即是可以借助超精密运动系统可以协助克服的关键之一，若有设备精密度与高精度运动平台的应用问题，也欢迎至半导体展会场与艾罗德克公司讨论，并参观最先进的运动技术发展。