聚焦先进封装PBA Systems双项纳米级应用上阵 携手合作夥伴展现强大整合能量

共面式空气轴承平台-XY龙门。碧绿威自动化

2023全年半导体市场总产值达5,268亿美元，扮演支撑世界经济发展的重要支柱，也让半导体设备成为各方兵家必争之地。在本届2024台北国际自动化工业大展中，PBA Systems（碧绿威自动化）携手多家合作夥伴，将展出以Z轴高精度定位滑台、共面式空气轴承平台等为核心的多款解决方案，主打能满足半导体产业对高精度检测需求。PBA Systems推出的Z轴高精度定位滑台、共面式空气轴承平台均采用开放式架构，企业可自行搭配合适的高精度检测模块，目前已广泛被应用于多家知名高科技制造业之中。

营运总部位于新加坡 的PBA Systems，深耕自动化技术近40年，是全球线性马达与直驱马达的主要供应商之一，目前于新加坡、台湾、日本、韩国、马来西亚、泰国及国内等地设有研发与制造中心，能为客户提供一站式自动化系统整合方案及技术支持服务。

PBA Systems台湾总经理蔡志成指出， PBA Systems从贸易商起家，在东南亚市场拥有非常缜密的销售代理。我们在2000年正式跨足自动化元件制造领域，从设计与制造线性马达与直驱马达为出发点，在此基础下发挥设计及定制实力，全力发展各种模块化产品。目前我们正进一步往高精密平台与龙门的设计制造递进，除聚焦于半导体先进封装、面板等产业，同时也积极耕耘电动车产业、AOI光学检测应用以及后市看好的矽光子等领域，全力带给业界高品质、高效率的高精密度定制方案。

PBA Systems线性马达产品能深受客户肯定的关键，在于该公司很早就导入自动绕线设备，所以线性马达与相关产品品质的稳定性与可靠度，自然得以大幅提升。此外，该公司持续代理自动化设备的相关配件，如滑轨、轴承等，加上可提供定制化服务，企业能享受到一站式购足的便利性，也成为在竞争激烈市场取得领先地位的重要关键。为展现深耕台湾市场的决心，PBA Systems也将扩大台湾研发中心规模，期盼为企业提供全方位的产品与解决方案。

提供纳米等级的定位精度 满足高精密检测需求

PBA Systems在本届会场展出的Z轴高精度定位滑台，主打有效行程内可达到纳米等级的定位精度，并搭配自制的线性马达，运动速度稳定，非常适合用于半导体、AOI等高精度要求的领域。特别是此产品Z轴采用无重力平衡装置，可抵消高达20公斤的重量，加上机台采用超薄型设计，具备安装简单、可轻松与其他XY平台整合的特性，可大幅减少空间。

至于另一款空气轴承平台为共面式设计，以 PBA自制线性马达为核心产品，可提供更平稳、更高推力的动力输出，具备极低的误差、平稳的运动和出色的定位精度。此产品在有效行程内可提供达纳米等级的定位精度，结合高速运行平稳、低速度涟波等特性，非常适用于追求高精度的半导体与其他产业。

蔡志成说，随着半导体制程进入3纳米、2纳米等先进制程，封装产业对于晶圆检测精度要求也比过往更高。PBA Systems共面式空气轴承平台的定位精度达纳米等级，能做到比客户要求的精度更小，加上具备维护与保养简单、无需上油润滑等特色，完全符合无尘室要求。此款产品非常适合应用于半导体等产业的先进工业自动化制造设备，如半导体曝光及检测设备、晶圆缺陷检测设备、玻璃板蚀刻应用、高速取放机台、雷射切割设备等。

过去几年，PBA Systems在亚洲市场的成绩非常亮眼。为展现进军欧洲市场的决心， 2024年该公司已于荷兰成立分公司，并与欧洲境内代理商维持深度合作，全力开发荷兰与德国市场。此外，PBA Systems总公司也与日本知名滑轨与轴承大厂 IKO 签订经销合作，将联手推出采用PBA Systems直驱马达、IKO滑轨与轴承的高精密定位平台，全力抢攻商机无限的高精密自动化设备市场。