雷射黑神话 帆宣「钻」进TGV重要制程
帆宣经过长时间与国内外顶尖技术合作, 提出业界最新的Laser-Induced Deep Etching(LIDE)解决方案对应TGV; 此套方案领先业界,为独有的雷射光束整形DOE设计,取代传统Bessel Beam,传统的Bessel beam直径大约1~2um,帆宣最新DOE设计可以达到直径数十微米 Bessel Beam,搭配高精密平台控制系统,支持运行间高速Trigger laser,提高throughput,成功有效降低锥角(taper angles),并接近垂直玻璃表面,更可让湿蚀刻TGV 径深比(Aspect Ratio)达1:10以上。帆宣改质区域可提高蚀刻选择比,雷射改质直径大又能让蚀刻液快速进入孔内二次LIDE制程,可提高真圆度达90%以上,降低玻璃的残留应力。
随着生成式AI带动服务器发展,AI芯片需要有强大GPU运算能力、3D-SoC和HBM存储器系统的整合需求,高频信号性能要求较高,加上芯片之间互联与接脚IO数量增加,在高端封装产业中,TGV成为未来备受期待的中介层材料,帆宣推出的LIDE解决方案, 进阶TGV低介电系数、高电阻率、IC运算高频信号损耗小、表面平整等优势,这也是载板产业积极开发的重要方向,未来有机会取代现有制程中介层-玻璃纤维复合材料。
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