AI驱动半导体良率革新 金万亿益引领微污染监测新标竿
- 陈杰
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陈杰/新竹
随着半导体进入先进制程，半导体厂对于制程环境污染的宽容度已趋近于零。在先进制程中，空气中分子污染物（AMC）已成为威胁良率最致命的「隐形杀手」。即使是分子级的杂质污染，皆有可能让单片价值数万美元晶圆遭受良率损失。
在此严苛背景下，金万亿益科技（New Fast Technology）凭藉专业分析技术的底蕴与领先业界的AI智能化监测系统，全面定义产业新标竿。该公司以领先业界的微污染监测技术为基础，将协助客户制程良率的提升做为最高使命，提供控管晶圆生产过程中，全厂微污染风险管理优化的决策建议，成为客户在先进制程扩产路上最稳定的技术战友。
从实验室到在线监测：化解良率管理的时滞性风险
金万亿益科技自 2006 年跨入半导体微污染自动化检测领域，适逢半导体晶体管制造关键的技术的重要转型期，也就是产业制造从40纳米迈入28纳米节点的时刻。
金万亿益敏锐察觉到传统「离线式实验室检测」的局限性，因为在先进制程中，传统实验室检测往往存在严重的「时滞性风险」（Time-lag Risk）—当污染事件发生后，样品需传送至实验室进行前处理与分析，往往需耗时数天才能产出报告；然而，对于高通量的晶圆厂而言，数天的信息延迟意味着可能有数千片晶圆已暴露在风险环境中。
为了缩短从「发现异常」到「采取干预」的时间窗口，金万亿益将需要仰赖高技术人才方能进行的精密「实验室分析技术」，发展成自动化「在线监测设备（Online Monitoring System）」，实现了实时数据监控与实时介入，成功协助客户实时监控先进制程的制程环境，管理及排除环境污染风险，进而确保制程的高良率。
Total Solution：覆盖半导体关键制程全环节
目前金万亿益的 Total Solution 范畴已完整覆盖半导体关键制程环境及制程材料风险管理，建构完整良率防护网：
环境监测 (Environment）：半导体制程环境监测 —实时追踪无尘室环境中与机台内部的微污染化学分子动态，防堵交叉污染风险。透过高精度传感技术，在分子级层次掌握环境变化，确保制程环境维持在严格的洁净标准之内。
制程材料风险管理 (Materials）：大宗／特殊气体监测、电子化学／特用化学品检测—严格控管供应端原物料，确保制程材料符合严苛的微污染风险管控标准。
产品故障分析 (Products）：晶圆表面微污染故障分析—针对晶圆表面进行分子级的残留分析，提供最具专业性的检测指标，透过全球首创的晶圆表面有机微污染监测技术，精准捕捉影响良率的关键污染源。
这套演进路径不仅是检测技术的自动化，更是将复杂的化学分析转化为稳定的微污染监测指标，为客户大幅提升了制程控管的透明度。
AI 智能导入：数码化专家经验 破解高端人才荒
当前半导体产业正面临空前的人力匮乏挑战，特别是具备深厚化学背景与精密分析技术的高端工程师极度短缺。金万亿益科技深刻理解到，若设备操作与数据判读仍依赖少数顶尖人才的「主观经验」，将成为扩产时的技术瓶颈。因此，公司全面导入AI智能化功能，旨在实现「经验数码化」与「操作亲民化」。
一键式智动操作
透过AI 驱动系统，设备具备了「一键式启动（One-button start）」与「自动化无人取样」功能。过去需要分析专家精确调校的取样流量、压差及化学预处理流程，现在皆由 AI 自动优化。这意味着，即便是一线的生产操作人员或非化学背景的人员，只需将样品放入并按下按钮，系统即可自动完成从0到100的全流程分析报告。
智能数据品质判定
更具战略价值的是 AI 在「数据可用性判定（Data Usability Determination）」上的突破。系统能自动过滤环境噪讯，并针对监测结果进行统计学上的合理性分析，自动排除异常偏误值。这种设计有效地将过往需依赖资深化学家主观判断的「判读经验」转化为精准的演算逻辑，不仅解决了高端技术人才不足的痛点，更消除了因人为判断误差导致的决策失误，确保了检测数据的绝佳可靠性。
全球首创：攻克晶圆微污染故障分析
在SEMICON Taiwan 2025展会中，金万亿益再度展现技术领导实力，发表了多项极具破坏式创新的产品。其中最受产业界关注的，莫过于标榜「全球首发」的「晶圆表面有机微污染监测（Wafer Surface Organic Trace-contamination Monitoring）」技术。
相较于无机离子或金属污染，有机挥发性物质（VOCs）在先进制程中极难侦测且具挥发不稳定性，是造成光阻缺陷与接触面氧化层不均的元凶。金万亿益的技术突破在于能直接、实时地捕捉晶圆表面的有机分子动态，提供比传统间接监测更具指导意义的数据。同时，公司推出的「实验室自动化检测机器人」，透过自动化机械手臂执行高重复性、高繁琐度的检测工作，将化学家与科学家从单调的劳务中释放，使其能更专注于高价值的制程数据解读与制程改善策略，进一步加速了研发端与量产端的协同效率。
ESG 绿色竞争力：精准生产下的减碳与减废策略
除了在技术前端追求卓越，金万亿益亦展现了对企业社会责任与永续发展的深度布局。公司近年接连荣获「国家品牌玉山奖」与「ESG 华人企业永续大奖」，体现其在营运体系与环境友善上的卓越成就。
从 ESG 的专业视角来看，金万亿益的精密在线监测设备是实现「绿色制造」的核心工具，透过极微量污染监测技术做到前端材料风险管控，有效预防因制程偏差导致的「晶圆废片」产生，从根源上节省能源消耗与物料成本。
精准判断滤网寿命 落实循环经济精神
在半导体厂的日常营运中，化学滤网(Chemical Filter）是维持洁净室空气品质的关键耗材。然而，传统作法往往基于「保守性时间排程」定期更换滤网，这种「宁可提前、不可延迟」的逻辑虽降低了风险，却也造成了大量仍具使用效能的滤网被提前报废，违背了循环经济的永续原则。
金万亿益的微污染监测技术，能够实时、精准地监控滤网的实际饱和状态，确保滤网在「确实失效」时进行更换，「从时间驱动转向数据驱动」的管理模式，不仅避免了过早更换造成的资材浪费，延长了滤网的有效使用寿命，实质降低了耗材采购成本与废弃物产生量。
这种透过「智能监测」带动「精准生产」的模式，正是半导体供应链在达成碳中和目标过程中不可或缺的绿色竞争力。在半导体产业追求技术领先的同时，ESG永续目标已不再是选项，而是必答题。金万亿益科技透过专业技术所展现的是半导体产业绿色转型的具体路径—从每一个监测数据开始，累积成整个供应链的永续之路。
SEMICON China 2026 登场—NEW Standard（创新标竿） FAST Innovation（极速突破）
从 2006 年起始的技术深耕，到如今展现以 AI 驱动微污染检测智动化的成果，金万亿益成功完成了从化学技术专家到「微污染自动监测标准制定者」的转身。面对下一个十年的制程演进，公司将以「全球半导体微污染监测领导品牌」的硬实力，持续作为全球先进制程品质稳定的核心动能。
金万亿益科技即将于 SEMICON China 2026 (Hall E6，摊位号码：6762）展出，本次亮点锁定先进制程最关键的「风险控管」与「全面监测」两大需求，重磅推出 。包含业界首创的「备援互补式制程材料痕量污染监测系统」以及「全AMC微污染同步监测设备」，再次创造监测新标竿，展现解决客户「产能痛点」上的绝对效益，成为半导体良率守护者以及客户最信赖的制程卓越战略夥伴。
