协助半导体厂从节能到良率　展绿科技揭示能源数据的制程价值

在半导体制造产线中，每一台关键设备的能耗行为，都可能是良率稳定与成本控制的关键。电压的细微波动、瞬时谐波的干扰，甚至毫秒级的电流异常，都足以导致温度曲线漂移，进而影响制程品质。传统能源监控系统往往只能在「节能」的架构下发挥作用，但随着制程精度提升与能源品质要求升高，单纯的节电已不足以应对半导体产业的挑战。

从节能到良率：能源数据的价值重塑

过去，能源监控多聚焦于降低耗电与契约容量；如今，能源数据的价值已延伸至制程优化与良率管理。
RTP快速升温制程案例：在某国际半导体大厂客户的RTP设备中，展绿发现机台1在退火阶段的电力趋近于零、升温幅度异常大。这种异常虽不会立即造成停机，但长期会影响制程稳定性与良率。透过分析与优化控制策略，该客户成功稳定了升温曲线，减少了次级品比例。

半导体供应商陶瓷烧结炉案例：客户的陶瓷烧结炉在降温阶段电力消耗异常升高，展绿透过能耗与温度的关联分析，发现长期存在的加热浪费与品质瑕疵原因。优化降温程序后，产品良率显着提升，能源浪费也同步降低。

Level 5的突破：深入子系统的精细诊断

业界大多数能源监控仅止于Level 4（设备端），展绿则能延伸至Level 5（模块端）。这意味着，不仅能监测整台设备总能耗，更能追踪清洗舱、真空泵、循环泵等子系统的行为。其价值在于：1.精准定位异常来源，缩短诊断时间2.避免「小病大修」或维修延误3.透过跨制程比较，逐步建立标准化的能源行为数据。

非侵入式部署：快速启动POC

展绿的智能钩表与传感器能在不停机、不断电、免拉线的情况下安装，并支持无线传输与自动充电，协助半导体厂在零中断的情况下完成升级，并于短期内验证POC效益。

能源数据即服务：AI持续学习

展绿将能源数据视为长期重要资产，透过AI模型持续优化识别能力。随着数据量的累积，系统的预测精度不断提升，形成「数据网效应」，使后续导入的同厂设备能直接受惠于前期经验。这正是半导体产业在「数据乾净度」高度挑战下的最佳解方。

展绿已成为诸多国际半导体大厂的合格供应商，并与多家制造技术研发中心合作，在产线中持续测试新技术；同时也与广运机械、联华电子、美商美光、崇越科技、世界先进、日月光、风行天与李长荣化工等夥伴携手，扩大数据采集范围，逐步建立跨机台、跨制程的行为数据标准，树立产业新标竿。

未来，展绿将持续扩大设备数据蒐集、深化AI行为模型，并整合ESG与碳足迹管理，协助客户符合ISO 50001与SEMI S23等国际标准，因应欧盟CBAM与台湾碳费等政策。

在节能减碳成为全球半导体必修课的时代，展绿科技证明能源监控已不只是「省电工具」，而是提升产能、良率与永续竞争力的核心系统；当能源数据与AI结合，每一度电将不再只是费用和碳排，而是转化为驱动产业升级的智能引擎。

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