海德汉ETEL为半导体制程带来运动控制与精密运动平台解决方案

在海德汉2023年半导体盛会上探索电子和半导体制造的新解决方案。海德汉

随着半导体制程与封装技术的不断提升，因此愈加要求制造与封测设备的整体性能。海德汉ETEL是拥有超过百年历史的量测和运动控制软硬件的供应商，在运动平台、控制系统与编码器、光学尺等拥有相当完整的产品组合。

海德汉电子事业部销售主管林明良谈到，在半导体设备运动控制平台的相关解决方案中，海德汉ETEL从设备所需的零组件到完整运动平台，都能提供高效能的解决方案给客户，在面对晶圆制造与先进封装的制程挑战时，能使其设备发挥高效能、高精度的运动控制能力，确保在良率与产能有极佳的表现。

在设备运动控制平台的零组件方案中，光学尺扮演着关键的角色，传统光学尺仅能量测单一自由度上的位置，其他自由度上的误差无法被量测，故精度就无法提升，因此在先进制程的良率提升，会遇到相当程度的瓶颈。若要解决这方面的问题，传统作法必须使用多组光学尺搭配多个读取头来处理多个自由度的精度量测，后端的设备取得较为完整的量测数据后，便得以补偿校正，确保整体设备的运作精度与稳定性都能有最好的表现。但这种作法在整体系统设计上就会变得非常复杂和没有效率。

为了解决这方面的问题，海德汉的2D平面编码器 PP 6000可直接回馈X、Y、Rz三个自由度的量测数值，让设备商可以直接使用不须再额外计算，可大幅缩短运作时间外，也让整体系统精度提升至纳米等级。PP 6000可根据晶圆的大小，其光学蚀刻板从60mm x 60mm到464mm x 464mm共有4种尺寸能提供设备商选择应用。

如先前所提，除海德汉光学尺外，ETEL亦有运动平台VULCANO2与主动式制振平台QuiET，因此可提供给客户高度整合性的运动平台解决方案。VULCANO2是一款具有创新设计概念，并搭载着名ETEL铁心式马达以及高端光学尺的龙门堆叠式多轴运动系统，尤其适用于晶圆前段和3D IC制程检测等制程，例如微影堆叠量测、微小关键尺寸特徵2D&3D量测、薄膜量测等应用。QuiET则能有效消除来自楼板振动和运动平台本身加减速的振动，QuiET的前馈控制可消除高达99%的振动。

林明良表示，海德汉ETEL的产品，如光学尺、运动控制器、运动平台与制振平台等，可以彼此互相搭配提供完整解决方案给客户，也能依照客户需求单独提供，就业务模式上相当弹性且多元。而他也强调，海德汉ETEL丰富的应用经验，搭配海德汉ETEL所提供的完整解决方案，可缩短开发时间，使客户端设备快速导入量产。以往客户需要自行整合来自各供应商的零组件，并对其原型机进行完整测试，确认没有问题后才会进入量产阶段。使用海德汉ETEL的完整解决方案，可有效简化开发流程，提升研发效益，使设备快速导入量产。

这类的解决方案非常适合用在半导体各种尺寸的晶圆检测制程以及各种先进封装制程中(如: CoWoS, InFO ,SoIC)，目前在许多国际大厂的关键制程设备中，都可以看到海德汉ETEL的身影。海德汉ETEL不仅是设备业大厂的重要合作夥伴，也是名副其实的隐形冠军。