凯诺科技展出打造半导体晶圆及EUV光罩自动化最佳方案

凯诺科技于SEMICON Taiwan 2023国际半导体展首次登场（摊位编号：P5712）。凯诺科技

凯诺科技为台湾上市公司京鼎精密科技（股票代号：3413）子公司，公司成立4年来耕耘半导体自动化设备事业有成，在2023年9月6日至8日于南港展览馆举行的SEMICON Taiwan 2023国际半导体展首次登场（摊位编号：P5712），展示最新半导体晶圆及EUV光罩自动化、晶圆检测、微污染防治以及机能水等设备。

凯诺科技定位成为半导体晶圆制造厂以及晶圆级封测厂于生产效能提升与良率提升之最佳夥伴，布局先进晶圆制程超高洁净度环境之晶圆传送、储存、监控、检测、清洁等一系列设备与服务。

包括：
（一）高洁净度及高可靠度的晶圆分拣机以及晶圆设备前端标准自动化模块；
（二）多站复合式晶圆氮气仓储、包装、拆包及分拣设备，同时整合三支机械手臂达到高效全自动化；
（三）光罩护膜全自动贴合设备以及光罩移载设备，可同时处理EUV光罩及传统光罩，全自动换线并具备实时AOI检测机能；
（四）晶圆外观与显微检测设备，可同时进行巨观检测以及1000倍显微镜AOI检测；
（五）主动式微污染防治解决方案，包括晶圆加载机氮气充填设备及洁净气帘装置；
（六）机能水生成设备，为晶圆清洗制程提供纳米级洗净效能。产品在各大指标半导体厂已有丰富销售实绩，应用于5纳米以下高端制程，并且规格可依制程需求而弹性定制化。

凯诺科技本此展览将以超洁净自动化核心技术为基础，提供多种整合解决方案，期能将团队20余年来研发先进设备的专业能力与业界分享，以提供在地化的技术支持结合实时性的售后服务，与客户共创成长与双赢。