创「芯」共赢，智造价值 百年品牌Festo为半导体产业打造一站式自动化解决方案

Festo半导体自动化方案于半导体展1馆1楼J3146摊位，邀请业界同仁一同以自动化为产业注入新动能。Festo

2025年全球自动化领导品牌Festo迎来百年华诞，秉持技术创新与卓越品质，持续为半导体产业注入动能。在SEMICON Taiwan 2025中，以「创芯共赢，智造价值」为主题，展示多项先进自动化解决方案，推动产业智能升级。

身为自动化技术和技术培训领域的世界领先供应商， Festo凭藉在多个领域的丰富经验，包括半导体、电子和组装、新能源汽车产业、太阳能、生物技术和制药、化学、水处理、食品和包装产业以及医疗技术和实验室自动化等，正透过气动与电动自动化、数码控制系统的组合，为全球半导体制造业发展赋能。面对半导体制程日益精密的挑战，Festo推出多款解决方案：

翘曲晶圆解决方案

采用压电阀以及Festo专利控制技术，先将翘曲晶圆进行量测，再从chuck上施以分区的正/负压控制，为不同翘曲形状(bow/umbrella/saddle)的晶圆达到有效的吸附与整平。独特的气动控制技术可以为先进封装在晶圆翘曲的问题上提供完美的解决方案。

先进封装的制程点涂胶及植散热片压合机方案

Festo高速阀具备极低的泄漏率、高频响应性能、以及低功耗线圈设计，非常适合应用于涂胶制程中，能精准控制出胶量，提高制程稳定性与品质。涂胶完成后，接续进行散热片的安装与压合制程。Festo压电产品搭配EtherCAT通讯方案，能一次控制多达10个气缸出力，也就是10个通道的压力，实现高精度的压力调节，并节省配线复杂度、促进制程数码化。

Gate Valve门阀开关减震方案

透过精细的压电控制技术，可以有效降低slit/gate valve于关门时的冲击力，以减少扬尘与震动，对于提升良率与延长门阀寿命有显着的效果 。

Festo AX–以人工智能为半导体设备提供预测性维护的解决方案

仅利用设备现有的传感器信号，Festo AX系统即可透过分析现有数据实现预测性维护。无论是气缸、电缸、真空产生器或吸盘等常见设备元件，AX都能协助客户在最小改动的前提下，赋予设备预测性维护的能力，大幅提升设备可靠性与维护效率。

Festo台湾区新任总经理吕瑞丰，将率领专门的半导体团队，快速回应台湾半导体市场的需求，强化Festo在台湾半导体及高科技市场的服务能力，与业界夥伴共创美好未来。

Festo诚挚邀请业界同仁于半导体展期间莅临1馆1楼J3146摊位，亲身体验领先业界的半导体自动化方案，一同以自动化为产业注入新动能。更多信息请上Festo中文官方网站。