MEMS引领产业再创新局 「智能生活」推动科技创新升级　 专访中华民国微系统暨纳米协会理事长李世光

MEMS(Micro-electromechanical System；MEMS)是目前科技界公认最具发展潜力及前瞻的研究领域。而MEMS的发展由来，可以追溯到1960年代利用半导体制程制造机械结构于矽芯片上之概念提出后，陆续引发相关的研究与发展。多年以来，MEMS曾一再被市场所关注，然而却迟迟不见该产业蓬勃发展。

中华民国微系统暨纳米协会理事长李世光指出，MEMS市场之所以无法开拓的症结在于早期国际大厂掌握了专利技术；而MEMS在生物芯片的限制则是医疗体系尚未发展出一完整之对应系统与模式，使得MEMS这块市场似乎蛰伏多年而未有成果。而今MEMS再次地被市场所瞩目，消费性电子俨然成为驱动这波产业崛起的新动能。观察这波消费性电子所带动的庞大商机，李世光认为「虚实并存」、「智能生活」是促动产业发展与科技进步的原动力。

蛰伏已久的MEMS市场

事实上，MEMS的开发早在数十年前就开始了，约莫13年前，当时全球就有多达62家的MEMS Foundry出现，但是碍于系统厂没有释出其技术(例如：胎压计之技术未下放至Foundry；HP的ink printer技术没有释出)，导致MEMS的应用受限而无法冲出量能。所以当时MEMS风潮虽来势汹汹，但最终却以雷声大雨点小的结局收场。

接下来的一波MEMS热潮，发生在6~7年前，当时MEMS在生物芯片上的应用，更是掀起一股旋风，那时业者很看好这块市场，然而产业自6~7年前起步至今，却也未见市场有所起色。李世光指出，MEMS产业会面临这样的困境，主要来自以下几个原因：首先是来自国际整合元件厂(IDM)大厂的强烈竞争，由于专利技术仍为大公司所掌握，台湾公司无法量产；也因为无法量产，导致价格点一直无法有所突破；此外，虽然学术界在此领域上持续耕耘，但却与业界缺乏有效衔接。

还有，MEMS在生物芯片的应用上，其商业模式/医疗系统并未发展出完整的系统与模型，因此新的技术与应用似乎只能停留在实验阶段，而市场端迟迟不见实际产出之商品。这也是为什麽这麽多年来，生物芯片市场有一定比例的成长，但当初被MEMS业界大为看好的应用端，却在此陷入一个停滞不前的泥沼。

消费性电子 驱动产业新荣景

然而，经过多年的蛰伏，在许多消费性电子的驱动下，业界似乎又燃起对MEMS的无限期望。MEMS在消费性电子上广泛被应用，举凡车用电子、游戏机(例如：Wii)、医疗保健、数码镜头、麦克风…等，都大量采用MEMS技术开发之加速器和陀螺仪。这波风潮，引发产业一股强大动能，无疑地将再次牵动这沉寂已久的产业结构。

虚实并存　创造产业发展新契机

目前最被看好的MEMS元件即是加速度计，加速度计是一种运动传感器，凡是物体因坠落、倾斜、移动、撞击或振动所产生剧烈或微小变化，都能够透过它被侦测出来，并转化为各种应用。近年当红的Wii游戏机即是透过加速度计侦测出游戏者手部的动作，再转换为对应的游戏操控。而更新一代的Wii摇杆，感应将更为精确，可侦测出更为精细的手部动作，因此对于MEMS的需求与应用也更加提升。

新一代游戏机的特点，在强调「虚实并存」、「人机互动」的功能，也因此大大驱动了MEMS的应用。李世光进一步说到，现今网络世界中许多的虚拟游戏，因为具备着「虚实并存」的特性，很有可能发展出驱动产业蓬勃发展的杀手级应用。

虽然台湾在MEMS发展深具潜力，但是碍于系统面的知识技能不足，以及对于未来发展趋势的掌握度不够，所以在MEMS的发展上受限。然而，在全球消费性电子的带动下，世界各国对加速器、陀螺仪、麦克风的需求涌现，我们看到代工的需求出现，所以台湾IC Foundry无不严正以待，纷纷投入这个曾被遗忘的MEMS战场。

智能生活　推动科技创新升级

李世光指出，「满足目前以及未来人类需求」是未来科技发展的主要方向，也就是说人类对智能生活的需求是引领技术提升的驱动力。许多先进国家已将「以人为本」视为未来科技产业发展的最高准则。在过去，来自于技术升级的推力已趋缓，反之，市场对智能生活的需求引力，才能不断地促使技术更新与升级！

经济部和国科会近年来推动诸多「以人为本」的科技专案或整合型计划，就是规划以智能生活科技为中心，驱动协同创新，形成一个永续循环且生生不息的创新价值回路。而这样的概念也呼应了欧盟的Living lab思维。MEMS的再次崛起，就是受到人类对消费性电子的需求牵引，而这也是人类对「智能生活」的期许与实践。

采访整理：SEMI Taiwan编辑 罗凯琳、高伟玲