Entegris推出新型VaporSorbR化学滤网

Entegris Inc.(NASDAQ-GS：ENTG)是高要求先进制造环境的提升产量材料与解决方案领导厂商，宣布推出空气分子污染(AMC)化学滤网VaporSorb系列的扩充产品。

VaporSorb是化学滤网的领导品牌，用于半导体制造关键步骤的无尘室环境和制程生产机台。VaporSorb化学滤网的设计已能以单一过滤器捕捉空气有机物、硷和强酸。新型VaporSorb TRK已添加特殊材质，使其成为第一个不仅能捕捉前三种核心污染物类别，还能捕捉第四类别的化学滤网，也就是定义为弱酸的类别。

针对光微影涂布？曝光机追踪设计的新型化学滤网，首创「四合一」化学滤网解决方案建立在过去的「三合一」技术上，避免了多重化学滤网的处理。此外，本化学滤网能保持VaporSorb领先业界的使用寿命，降低生产机台的停机时间和持有成本。

Entegris AMC过滤服务部资深产品行销经理Joe Wildgoose表示：「现今的黄光制程良率问题可望减轻；解决问题要从处理一个必须处理的污染物类别开始，也就是弱酸。VaporSorb TRK不仅是能处理三种常见主要问题的单一解决方案，还能处理最新关于弱酸性空气污染物的问题。」

弱酸的例子包括醋酸(醋酸盐，CH3COO-)和甲酸(甲酸盐，HCOO-)，以及亚硝酸(亚硝酸盐，NO2-)。这些污染物会在黄光制程中产生污染和产量的问题，因为不仅传统AMC化学滤网无法除去这些污染物，而且使用传统设计的过滤器时还可能产生有机污染。

VaporSorb化学滤网以独特的混合材料捕捉空气分子污染物。藉由添加新的吸附剂来加强该混合材质，以产生新型四合一化学滤网。实测上，终端使用者测试已证明该化学滤网能够捕捉所有会污染晶圆和设备的有机物、硷、强酸和弱酸。

美商英特格也将于2014台湾国际半导体展中的TechXPOT创新技术发表会上，介绍VaporSorb TRK化学滤网之特性与应用，敬祈届时莅临指教。更多关于VaporSorb TRK相关信息，请参阅官方网站，或是联系当地客户服务代表。

9月4日TechXPOT 创新技术发表会
讲题：VaporSorb TRK Chemical Filter - Full Range of AMC Protection for Coater/Developer Tools
主讲人：Mr. Jason Lai, Gas Microcontamination
时间：15:30~16:00
地点：台北世贸南港展览馆 1楼 Micron Stage Booth #2002

关于Entegris

Entegris是半导体与其他高科技产业的领导供应商，为这些产业在处理与制造中所用的关键材料，提供纯化、保护和运输所需的多种产品。Entegris通过了ISO 9001认证，并在美国、大陆、法国、德国、以色列、日本、马来西亚、新加坡、韩国和台湾设有制造工厂、客户服务中心或研究基地。更多信息请参阅：www.entegris.com。