ATMI落实绿化学12准则 半导体制造生产效益和环保兼顾

绿色议题全球发烧，全球制造业正掀起一阵生产技术改革旋风，高生产率及低成本已不再是唯一准则，「绿色产品」和「绿色制程技术」将成企业的新竞争优势。绿色制造的重点在于节能、省水、有毒物质处置、废弃物减量、废气排放减量，以及符合各种环保指标。全球领导半导体、面板和LED厂商都不约而同指出，该从制造源头就导入绿色设计概念(Design for Green Manufacturing)。

有监于此，SEMI于2010年邀集台湾半导体、面板、太阳能、LED产业代表与相关设备材料商，筹组「SEMI高科技绿色制程委员会」，以SEMI环境卫生安全(EHS)产业标准为基础，从原料和设备研发着手，要凝聚业界，共同提升台湾的绿色竞争力。今(2011)年，SEMI更在SEMICON Taiwan中再次推出「绿色制程及厂务管理专区」，而全球化学材料领导供应商ATMI(先进科材)也首次参展，展示该公司在绿色材料的研发理念与新的解决方案。

ATMI的产品iCleaner在今年7月份获得美国环境保护局的「Design for the Environment」标章。这是全球半导体产业首度获得此殊荣的产品，显示ATMI在环保产品的研发上不惜投入成本与人力，在提升产品效能的同时，也顾及健康与环保需求。该产品是结合「12 Principles of Green Chemistry」(绿色化学品12个准则)以及「12 Principles of Green Engineering」(绿色工程的12个准则)的2个核心准则来设计，与客户合作并透过 ATMI的高效率研发设备，研发团队得以开发出全新、低臭味且对环境无害的配方，创造高效率、低成本的产线中清洗方式。

ATMI执行副总Tod Higinbotham表示，该公司将12 Principles of Green Chemistry视为ATMI的Green DNA，确切落实在设计、制造的每个环节中，严谨地控管ATMI所生产的化学产品与材料，并以最有效率的方式提供符合客户需求的产品。达到EPA标准并荣获DfE标章，是ATMI积极迈向化学及材料发展的第一步。

基准清洁(Baseline cleanliness)对IC制程环境来说相当重要，而随着越来越多的先进电子产品尺寸要求轻薄短小化，晶圆处理环境中的晶圆表面与其他表面的清洗更显关键。除安全与环境考量外，与过去的方法相比，该产品强化的清洗效能在不影响良率的前提之下，不但可提升生产率，对制程更无其他影响。

Tod指出，半导体的制造未来在材料的选用上，会有更多的原物料将取自可再生素材、可生物分解的物质。对材料厂商而言，为客户提供一个兼具效率和环保的解决方案，就是实践绿色制造的最佳方式。因此，ATMI将「环保」与「永续经营」纳入新产品研发设计时的基本原则，并透过供应商管理团队，遴选合格的供应商作为合作夥伴。

Tod表示，ATMI所有的产品都符合SEMI制定的相关国际产业技术标准。此外，ATMI从一开始就严谨检视所有的新化学产品，执行各个阶段性的控管，确切检测在量产机台中的化学产品，确保这些物质不在RoHS或JIG Green list等环保违禁品清单中，同时会主动提交相关检验表单给客户。

Tod强调，在评估环保成效时，需要针对产品本身的整个Life Cycle作全盘性的考量，也要从「无毒」和「节能」之间，找到一个对环境最友善的平衡点。尽管半导体制程中牵涉到许多技术和商业机密，然而面对绿色管理和绿色制造的趋势，Tod认为，未来客户和供应商更应该要建扩大信任基础，更开诚布公的去分享信息，共同设定绿色制程的目标，才能从设计就植入绿色概念，提升企业与整体产业的绿色竞争力。