馗鼎纳米展出电浆去光阻机 CNT-PA01 提高制程高良率

馗鼎纳米于电子展南港展览馆摊位K0410号，展出一系列电浆设备。

馗鼎纳米为国内第一间开发常压电浆设备的公司，亦是国内最大电浆设备生产制造商，此次展出电浆去光阻机 CNT-PA01，最主要功能为去残余光阻及蓝膜，CNT-PA01利用高密度电浆源提高效率，减少制程时间，并可使用多种制程气体，在进气、扩散及抽气系统设计上亦经过特殊设计，亦能维持制程处理及电浆均匀度的高品质，过程采全自动化且易操作，设备的稳定性高易于维护，更可根据客户需求设计专用特殊规格之机台。

目前国内各面板厂皆已大量投入电浆设备，电浆设备具有优越的基材表面清洁能力，可配合产线速度in-line生产，亦可采点状式针对需处理的部分作局部清洁，或选择大面积的整面清洗，电浆设备亦为乾式清洁设备，可减少溶剂之使用，再辅以国产品价格之优势，是业界更具生产效益及成本竞争力的选择。

馗鼎纳米亦是国内唯一具有自行建立类钻石镀膜(DLC)及Diamond、TiN等镀膜设备和开发新制程技术能力的厂商，包括日本光盘模具原厂都直接委托馗鼎进行镀膜代工，馗鼎开发之接触角量测仪及微氧分析仪，其产品品质亦获国内外公司及各大专院校之高度肯定。