志尚展出10纳米超纯水粒子计数器、ppt级气态重金属采样分析技术

志尚2016半导体展，展出10纳米超纯水粒子计数器 (LiquidTrak Scanning TPC Model 9010)。

9月7日至9日为一年一度的国际半导体盛会，志尚仪器将于现场特别展示相关半导体方面分析仪器设备。

除了以往展出MA/MB项目的在线酸硷排放暨AMC分析系统以及最新的离子电泳分析仪(IMS)、MC项目上的RGA在线质谱系统以及在线型ppb级总有机性气体(TVOC)外，2016年更将展出有关MD项目中的Dopant Gases中气体重金属的采样分析技术以及10纳米级超纯水或Slurry超微细粒子计数器。

此外也会展出高科技厂房常用的工安环保(IAQ)相关设备，欢迎业界先进莅临会场参观指教，展示摊位号码：南港展览馆四楼N176。

遥想25年前志尚仪器依照以往前辈的路线由代理专业气体分析仪器起家，但在10余年前的一个事件中了解到一个仪器公司如果以代理为主未来只会不断的在更换代理及找代理中度过，犹如没有根的浮萍，随时随地要为了争取代理权而展开保卫战。

因此开始尝试提升自我的核心能力并鼓励员工研发，进而初步进入了仪器研发、制造与系统整合的大门，之后又蒙教大环工所蔡春进教授的错爱，得以技术转移有关老师的核心技术。

近来不仅获得相关科研单位的使用，最近更获得多家高科技厂房的青睐，同时今年也同步在大陆、日本与韩国成功招募到产品的代理商，这不仅肯定志尚仪器多年来朝着高端精密分析仪器制造的努力，同时也告知相关半导体客户，台湾的仪器厂商是有能力协助制造属于自己的高端分析仪器设备。

为了达到提升自我核心能力，近年来志尚仪器为了不断的追求品质目标，以提供客户最佳的售后服务，不仅通过ISO9001:2008认证，之后又先后成立ISO 17025认证暨TAF第1936号气体流率(Flow Rate)与气体侦测器(Gases Monitor)校正实验室，以提供客户最优质的气体流量计或校正器之校正，与可燃性？毒性气体侦测之校正服务，以及全台第一家微污染气体分析实验室(AMC Lab.)可提供客户有关洁净室内酸硷气体及有机气体的采样分析，品质可达 ISO 17025等级。

当然最大的收获就是在2010年有幸获得国立交通大学蔡春进教授的首肯同意进行技术合作，并将已获得中华民国专利的Denuder技术进行技术转移，以便与ISO 17025实验室结合，开发出新一代的AMC分析仪。此外，更与国外相关零组件工厂合作自行研发各类气体分析仪及气体校正设备。

近来更合作开发相关纳米微粒采样设备，回收率可达95% 以上，与之前的Denuder合体可以同时且有效的采取气体及纳米微粒样品进行成分分析。

另外，更扩大与国外的技术交流，成功的开发出第三代的离子电泳分析仪(IMS)，其设计除了舍弃传统的化学Dopant外，也采用较低放射性的氚作为游离源，不仅可以一机同时侦测酸硷两种气体，而且可以同时量测多种酸硷性气体。

此外，可加温的侦测器设计可以避免样品浓度过高造成污染，另外因为不使用Chemical Dopant，因此也不会有如一些厂家在使用时因Dopant气体与空气中其他气体反应形成结晶造成侦测器的污染。

2016年对于志尚仪器而言是又是另一个新的里程碑开始，经过了25年的淬练，志尚仪器期待能再提供台湾高科技产业更多优质的产品，因此2016年志尚仪器更是推出世界唯一突破20纳米极限的超微细粒子计数器，专利的气化器(Nebulizer)系统可将UPW或是Slurry超微细颗粒结合CPC的技术一举突破光学粒子计数器20nm的极限。

另外更推出世界唯一可以将高科技厂房中Dopant Gases的重金属微粒化后经由ICP-Mass分析可达5 ppt 的检测下限；此外也取得最新的光声光频技术(PAS)可以同时量测高科技厂房内的Ammonia与HF两种重要气体。

自1990年成立至今，志尚仪器一直以成为产业界气体分析仪的专业代理？制造商为目标，不仅之前代理相关欧美知名半导体及工安环保气体侦测分析仪器，而后希望藉由相关ISO 17025实验室的建立，将从一个单纯气体分析仪器代理商的角色，提升为气体分析仪器制造商及系统统合商(Turn-Key Solution)。

现今又正式成立研发制造部门，正式踏足研发制造领域，我们自我期许希望志尚仪器可以成为具备由仪器谘询→研发制造→仪器销售→系统整合→分析校正服务→仪器租赁，提供客户完整治标暨治本的解决方案。

当然目前志尚仪器也希望朝着本土化生产高端气体分析仪器之目标不断的提升自我能力，除了产品已取得CE相关认证部分，零组件也申请台、中、美的专利，现今不但多项设备获相关半导体业界或传统石化业界暨研究单位陆续采用中，另外也已经成功外销相关高端气体分析仪器至欧美等国。

期待台湾各高科技厂房能给与志尚仪器一个机会，让本土企业有机会能够在这个土地上生根。如需进一步志尚产品信息，请上官网查询。