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亚泰半导体化学自动开盖及输送系统获2024台湾精品奖

  • 张丹凤台北

全自动开盖及输送化学液系统iChemLid获颁2024台湾精品奖。亚泰半导体
全自动开盖及输送化学液系统iChemLid获颁2024台湾精品奖。亚泰半导体

亚泰一直以来致力于高科技厂房设施领域,尤其在包含诸多贵重原物料的化学品/研磨液输送系统;在该系统所涵盖的物料保存、输送、加工以及品质控管的厂务设施,亚泰展现了卓越的专业实力。高科技制造环境中,特别是半导体制造业,物料的保存、输送与加工是关键环节,不仅需要高度自动化,更需精密的品质控制,以确保半导体对制程高品质的要求。

以物料保存及运载为例,尽管芯片自动化仓储应用发展相当成熟,但化学品由于作业特性复杂或导入新作业的成本效益低落,化学桶物料控管的实施,仍多倚重人工操作。特别是在化学桶搬运及开盖作业中,由于作业涉及到数百公斤的化学桶移载,以及开盖、抽吸液管对正升降操作等复杂性,目前仍多由人为介入及主导作业,这使得作业人员可能面临暴露在化学品环境中操作的风险。

为因应这一挑战,亚泰于近年成立了智能自动化事业群,并聚焦于化学品/研磨液供应系统(Chemical / Slurry Delivery System;CDS / SDS)的主要及次要关联作业,进行智能自动化的创新研发。在此背景下,「全自动开盖及输送化学液系统iChemLid」标志性地诞生,并荣获2024台湾精品奖。

iChemLid针对原供应系统中的化学液输送单元,提供预备作业自动化新方法应用,包含了化学桶物料搬运、移载、装料、进料及退料等关键作业。这使得化学液及研磨液原物料能够精准地移动到设备内,引导进入特定管路系统及半导体制程作业。

亚泰的创新不仅体现在技术研发上,更体现在全球首创最经济节能的「全自动开盖及输送化学液系统」上。这一系统的推出实现了化学桶的「移载、开盖、抽液」的数据智能化及作业自动化管理。不论是软质或硬质的55加仑化学桶,均可进行移载、旋转及对位。

各种刻痕纹路的化学桶密封盖,在无需更换开盖器的前提下,实现了高效率的自动开盖、取盖及复锁盖。自动对位的抽液管不仅将化学液体抽送至更上层的化学输送系统,还搭配底盘倾斜装置,进一步确保化学桶内的液体可倾斜抽空。整合数据采集与监控系统(SCADA)与客户端的中央厂务监控系统(FMCS),亚泰实现了「化学桶推桶入抽液设备、开桶盖、抽液管对位置及抽液、锁桶盖、复推桶出设备」等作业数据的蒐集、整理、应用与管理,从而实现100%自动化学桶抽液控管。

将iChemLid应用于半导体或高科技厂房设施的化学桶抽液作业,不仅能建立厂务运转大数据履历,更能有效节省人力,提高非人接触化学品,进而降低安全风险。同时,全天候厂务设施管理使得对抽液运转的全面掌控成为现实,进一步提升工厂智能化管理水平,协助客户达到更佳的ESG经营目标。亚泰的iChemLid系统,不仅是技术的巅峰,更是对于工业安全、生产效率和环境友善的承诺。