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兼顾产能良率与减碳 钰祥扩大台湾半导体客户优势

  • 张丹凤台北

钰祥总经理庄士杰表示,钰祥的滤网在AMC过滤表现更居于业界之冠,为强化技术,钰祥也与工研院合作研发。钰祥
钰祥总经理庄士杰表示,钰祥的滤网在AMC过滤表现更居于业界之冠,为强化技术,钰祥也与工研院合作研发。钰祥

近年来气候剧变,为让上升温度控制在1.5°C内,联合国政府间气候变化专门委员会(IPCC)指出2050年全球须达到净零排放目标,方能防止状况继续恶化,此目标现在也成为多数国家与产业共识,目前已有超过300家大型企业会员参与RE100倡议,欧盟更已明确订定「碳边境调整机制」时程,台湾做为全球制造产业重镇,在制程减碳必须与国外同步,方能顺利成为产业供应链的一员。

在微污染气体过滤防治已有33年经验的钰祥指出,经济与环保以往是制造业的两难,尤其是制程环境对空气微粒子忍受度极低的半导体产业,更需同时兼顾产能良率与社会责任,此困境将对营运带来重大挑战,不过近年来环保技术已大幅精进,钰祥所推出的微污染气体过滤解决方案,就可让半导体业者在提升良率的同时,落实环保减碳愿景。

钰祥模块式AMC滤网,让半导体业者仅需更换其中饱和的滤网即可,不仅降低汰换成本,达成循环经济的诉求。钰祥

钰祥模块式AMC滤网,让半导体业者仅需更换其中饱和的滤网即可,不仅降低汰换成本,达成循环经济的诉求。钰祥

制程快速精进 AMC影响良率至深

现在半导体的资本投资渐高,良率对营收的影响逐步放大,然而现在半导体制程已从以往的100~200道,快速增加至逼近400道,当整体过程愈来愈繁复,影响良率的因子也就更多,因此要让良率维持以往的标准,所有环节都必须同步跟上,尤其是在制程中扮演关键角色的等AMC(气体性分子污染物)控制设备,更需强化效能。

钰祥总经理庄士杰进一步指出,AMC控制本就是半导体制程的重点。由于芯片上的线路细微,AMC粒子将严重影响其电性运作,尤其是部分AMC带有硫、盐等化学成分,若与芯片接触,将可能阻碍电路运作,甚至导致线路腐蚀,造成芯片失效,产线良率也会因此下降,尤其是近年半导体尺寸快速微缩,AMC粒子的体积已与芯片线路宽度相当,因此在先进制程中,上述问题的影响将更为巨大。

除了防止外来空气的污染外,半导体制造业也须降低对外排放气体中的AMC,庄士杰表示,半导体制程中会使用大量特殊气体,为避免使用过的气体影响周边环境,业者从以前就会透过各种过滤技术,避免造成空污,近年来半导体产能快速增加,所使用的气体数量渐多,再加上社会的环保意识抬头,法规制定愈来愈严格,这些都让空污问题更为棘手。

为了解决上述问题,半导体业者在早期就导入各种控制技术降低厂内外AMC污染。目前半导体业者的AMC过滤作法是透过3∼4道滤网进行防护,透过防酸、防硷、防有机物的三合一材质过滤AMC,不过此一作法不仅效益不彰,也会让半导体制造成本居高不下。钰祥表示,滤材对酸、硷、有机物的饱和程度不一,在三合一的滤材中,只要其中一种饱和整套滤纸就必须汰换,在产量提升下,这些累积起来的浪费相当可观。

为了解决此问题,钰祥推出模块式AMC滤网,此产品包括两组有机物滤片与一组酸性滤片、一组硷性,自此架构中,半导体业者仅需更换其中饱和的滤网即可,不仅降低汰换成本,模块化设计也可缩短滤网的更换时间,降低对产能的影响。

除了协助半导体业者缩减成本外,钰祥的滤网在AMC过滤表现更居于业界之冠,为强化技术,钰祥与工研院合作,藉由工研院技术转移所成立的实验室,让钰祥大幅强化AMC过滤效能,若从单一滤网来看,一片滤网所增加的效能或许有限,但如果是多道防护,相乘后的效益就相当显着,例如现在市面上的滤网防护效率是90%,四道滤网下的AMC可侵入机率是万分之1,而钰祥的滤网防护效率为95%,四道滤网的AMC可侵入机率就被缩减至625万分之一,其差距可见一斑。

除了滤网外,钰祥也优化滤网外框的设计。以往的半导体业者常用的滤网外框多为铝材,单一外框的重量高达2公斤,一座半导体厂每年须废弃的滤网高达2万个,所需处理的外框数量十分惊人,对此钰祥将外框重新设计改善,让外框可在不影响过滤效果的前提下重新使用,以循环经济方式达到物尽其用的目标。

在强化滤网、框架效能的同时,钰祥也不忘降低自身产品制造过程的碳排,钰祥现已在产线中建立生产履历,记录每一环节的碳足迹,并透过数据的追踪与分析优化制程,让碳排放量降到最低。

在强大过滤技术的支持下,钰祥不仅为半导体业者提供AMC数量极低的清净空气,同时也减少了大量的碳排,根据官方认证,到2018年,钰祥所减少的碳排放量,约等同10座台北大安森林公园树木所能吸收的二氧化碳。

产能充足供货无虞 钰祥善尽保护客户责任

近年来半导体产能快速扩大,制程设备的市场需求也随之提升,作为半导体制程关键设备的滤网设备开始出现供不应求状态,庄士杰表示由于早期就已备妥产能,并与原料供应商建立起深厚的长期合作关系,因此在这段市场缺货期间,钰祥仍能随时供应产品,让客户不会因为滤网因素影响产能。

充足的产能与先进滤网技术不仅让钰祥成为国内半导体客户的最佳夥伴,同时也吸引了其他国家半导体业者的注意,曾有他国业者开出高价采购钰祥产品,不过由于滤网设备与半导体制程息息相关,外销的设备规格与数据有可能透露原有客户的制程机密,因此钰祥在保护客户的前提下断然拒绝此订单。

为了扩大服务触角,钰祥积极与不同领域的业者展开策略联盟,近期就与汉民合作,由汉民总代理国内大陆市场。除了半导体市场,钰祥也透过代理商将AMC控制解决方案导入至中油与台塑的工厂内,协助这两家台湾大型化学业者提升产能与良率。

放眼未来,减碳已成为全球产业的共同趋势,而过去减碳与经济发展往往会相互抵触,钰祥在AMC控制与循环经济的技术,将可协助半导体业者在提升产能、增加营收的同时落实环保目标,与客户携手迈向2050净零碳排目标,创造经济与环境双赢荣景。