ASMPT借助Renishaw光学尺技术强化高性能运动控制

Renishaw 光学尺系列。Renishaw

在当今半导体产业的纳米级别发展下，后段制程设备面临着精度、生产力和稳定性等挑战。光学尺作为运动控制中至关重要的元件之一，需要不断更新技术并推出新产品，以满足市场的严苛要求。

总部位于新加坡的ASMPT致力开发先进的半导体组装和封装设备，多年来受到业界的推崇，与Renishaw 的合作已经超过25年，在光学尺产品应用、定制化方案和设备检测方案等领域积累了丰富的合作经验；光学尺作为运动控制系统中的重要元件，规格也需不断升级以满足ASMPT因应市场的需求。而在选择光学尺产品时，必须要考虑几个关键要素：速度、抖动、光学尺体积，与安全和规性。

为了满足这些要求，光学尺厂商需要不断研发创新，以提高速度、降低抖动、减小体积和重量，并确保产品符合相关的安全标准和验证要求。而ASMPT多年来采用多款Renishaw光学尺产品，从RGH到 RESOLUTE系列，再到近期的ATOM DX微型系列和VIONiC高性能系列等，应用在不同阶段的后段制程设备上，包括INFINITE 12英寸芯片键合机，专为一般IC封装而设计。

除了光学尺外，ASMPT亦使用Renishaw XL-80雷射干涉仪和XM-60多光束校正仪等校正设备，在设备生产和定期预防性维护方面发挥着重要作用。

例如，他们使用XL-80雷射干涉仪进行检测和校正，以确保设备在运作过程中的准确性和稳定性。此外，Renishaw XM-60多光束校正仪具可以同时量测六个自由度的误差，且只需进行一次设定。都有助于了解每台加工设备的精度等级和加工能力，确保设备的正确运作和生产效率。

ASMPT研发部总裁蔡秉刚博士表示，可以预见光学尺的规格要求将会朝着高速度、高分辨率和低信号抖动的趋势发展，这对控制器和光学尺来说都是一大挑战，而ASMPT从来没有怀疑过Renishaw的实力，相信其能继续提供合适的光学尺产品。

延续与ASMPT长期合作的成功经验，让更多业界夥伴深入了解精密量测技术于半导体产业的应用，Renishaw将于9月10日至12日参加SEMICON Taiwan国际半导体展，展出重点涵盖ASMPT所采用的运动控制光学尺与设备校正系统，并特别展出应用于材料分析的拉曼光谱仪。诚挚邀请业界先进莅临南港展览馆二馆四楼S7458摊位，共同探索如何透过创新量测技术，迈向更高的制程精度与良率。