领航半导体制程 志尚仪器为您提供顶尖解决方案

志尚仪器提供完整并符合Semi IRDS相关规范的AMC分析设备。志尚仪器

在竞争激烈的半导体产业中，制程精确度与厂务安全是企业成功的关键。志尚仪器凭藉其深厚的专业知识与丰富经验，为半导体制程提供一系列领先业界的仪器与设备，确保您的生产线高效、安全、稳定运行。
志尚仪器的核心半导体相关产品包括：

1.半导体制程暨厂务分析设备：精确监测制程中的各项关键参数，为您提供实时数据，优化生产流程，确保产品品质。2.制程气体在线质谱仪（VOC/PFC）：专为半导体产业设计，能够实时分析并监控制程中产生的挥发性有机化合物（VOCs）及全氟碳化物（PFCs），有效防止气体泄漏，保障工作环境安全。

3.毒性气体传感器：提供高灵敏度的侦测功能，实时发现潜在的毒性气体威胁，为您的员工筑起第一道安全防线。

揭开「看不见」的真相：Picarro化学计量系统

隆重介绍Picarro化学计量系统，一套专为半导体光刻制程设计的全面性空气分子污染物监测解决方案，不是提供单纯的监测器，而是一套基于革命性腔体衰荡光谱（Cavity Ring-Down Spectroscopy；CRDS）技术的智能生态系统，为您的制程提供实时、精准、全面的保护。

核心优势：领先业界的CRDS技术

核心技术——CRDS，是雷射光谱领域的黄金标准。它通过测量光线在精密光学腔体内衰减的时间，来计算分子浓度。这项技术的独特之处在于：

超高灵敏度：能够侦测到低至万亿分之一（ppt）的酸、硷类污染物，以及低至十亿分之一（ppb）的挥发性有机化合物。这比传统的GC-MS（气相层析-质谱法）等离线分析方法更加灵敏，而且能提供连续、实时的数据。

实时监测：无需等待繁琐的采样和实验室分析，系统能够每30秒提供一次精准的测量结果。这意味着，一旦发生任何泄漏或异常，您可以在几分钟内收到警报并立即处理，而不是在几天后才发现问题，那时的损失可能已经无法挽回。

多功能性：单一系统可同时监测多种关键污染物，从最常见的丙酮、PGMEA、PGME，到对光学元件有严重影响的矽氧烷（D3、D6 Siloxane），再到腐蚀性极强的氟化氢（HF）、氯化氢（HCl）等，一网打尽所有潜在威胁。

选择Picarro  就是选择未来

在全球数百家高产量制造（HVM）晶圆厂中，Picarro的CRDS技术已经被证实是保护光刻制程免受AMC威胁的理想选择。不仅提供先进的硬件，更提供专业的技术支持和数据分析服务，帮助您将监测数据转化为切实可行的移动方案。良率的提升，从来不是偶然。而是来自对细节的极致追求，来自对每一个看不见的敌人的精准掌控。

AMC自主研发先进技术与应用  实现ESG永续经营目标

志尚仪器提供最新的「无放射源」离子电泳分析仪（IMS），这项技术符合SEMI IRDS Roadmap对于微污染分析与ESG永续经营的精神 。这款分析仪融合了多项优点，既可使用空气作为掺杂剂（Dopant），也能采用化学掺杂剂。

独特的电路设计能切换正负极，让单一设备即可同时侦测酸性和硷性气体 。当使用空气作为电荷供应源时，它能同时量测多种酸性气体，例如HCl、Cl2、HF、醋酸和硝酸等 。

传感器具备可加热设计，能有效避免样品浓度过高造成的污染 。更重要的是，它不含「镍63或氚」等放
射性元素，这有助于企业实现ESG永续经营目标 。

另外志尚仪器致力于为高科技厂房提供最新的在线排放管道酸硷气体与气溶胶成分分析技术 。志尚仪器与国立阳明交通大学蔡春进教授深度合作，成功将其Denuder技术商业化 。这项技术已与ISO 17025实验室结合，开发出新一代的AMC 分析仪（PPWD-IC），可应用于侦测高科技厂房排放管道中的「五酸一硷」气体 。此外，该技术也能透过SDEP/PILS进行微粒中的化学成分分析 。

志尚仪器也与蔡教授合作开发新型的排放管道PM2.5光学式在线连续监控系统 。这套系统针对高科技厂房内因酸硷气体和高湿度导致的光学不准确问题，设计了特殊的前处理设备，并采用Beta-Gauge进行双重验证，确保数值的准确性 。

专业认证

志尚仪器始终追求卓越品质与最佳售后服务，不仅通过ISO 9001认证，更成立了获得TAF第1936号认证的 ISO 17025 气体流率（Flow Rate）校正实验室 。在ISO 9001体系下，我们提供优质的气体传感器校正和大气酸硷气体分析服务 。

此外志尚仪器不仅提供优质的设备，更以专业的技术服务为后盾，提供仪器校正、维修与技术支持，协助您解决任何技术挑战。选择志尚仪器，就是选择专业、信赖与卓越。

志尚仪器深信透过不断创新与优化，将成为您在半导体产业的最佳合作夥伴。期待与您携手共同开创更辉煌的未来。欢迎随时联系我们，了解更多信息请上志尚官网查询。