Renishaw 亮相 SEMICON Taiwan：精密量测引领半导体制程革新

Renishaw光学尺读头系列。Renishaw

全球精密工程与科学技术领导品牌 Renishaw 将于9月10日至12日参加SEMICON Taiwan国际半导体展，于南港展览馆二馆四楼S7458摊位磅礡登场。本次以「Precision at every stage of semiconductor innovation」为核心主张，重点呈现三大精密量测技术：聚焦高端设备应用的「多自由度 (MDoF)」运动控制编码器、能同时检测「六个自由度 (6DoF)」的雷射校正系统，以及用于半导体材料分析的光谱仪，提供定制化量测解决方案，协助半导体制程迈向更高的精度与良率。

任何设备或运动系统在设计与实际运作之间都可能产生自由度误差。因此，如何高效率的量测并校正这些误差 - 尤其对于要求高精度的半导体设备 – 更是关系到制程能否有效提升的关键。
为此，Renishaw针对此挑战提供一系列具关键优势的量测技术，包括：

1. 运动控制编码器：

Renishaw一系列运动控制编码器应用广泛，精准定位，稳健可靠，为高效制程奠定基础。在要求日益严苛的半导体制造中，高精度运动控制已成为制程稳定性的关键要素。有监于此，Renishaw正式推出全新 1.5D光学尺系统，成为展中的一大亮点。该系统具备多自由度量测能力，能精准反馈高精密平台移动过程中所产生的动态误差，进而有效掌握整体精度表现，适合不断推陈出新的半导体设备。

此外，Renishaw多款光学尺系列产品也早已为半导体产业所采用，例如VIONiC高性能光学尺就获设备大厂ASMPT应用在其不同阶段的后段制程设备上。

2. 设备校正系统：

为维持半导体设备长期稳定运作，定期的误差校正与精度维护已成为不可或缺的环节。XM-60多光束校正仪可同时量测线性轴6个自由度的误差，仅需一次撷取，即可完成该轴所有几何误差的量测，是一套功能强大、可协助打造高度可靠制程设备的诊断工具。

而XL-80雷射干涉仪则以极高稳定性与精度闻名，可针对半导体关键设备、精密平台等进行检测和校正，以确保设备在运作过程中的准确性和稳定性。

3. 拉曼光谱仪：

当生产出半导体后，便可以使用Renishaw拉曼光谱仪作为半导体的检测工具。拉曼技术可有效地对多样化的半导体、高分子材料和超导体进行表徵与成像分析。其分析过程简单直接，无需样品制备，也不依赖真空环境操作，避免了使用电子显微镜常见的电荷积聚问题。

本次展出的Virsa拉曼光谱仪是一款可携式全自动拉曼系统，支持快速分析材料组成、晶体结构、残留应力等微观性质。拉曼光谱仪广泛应用于半导体材料研发、生产监控与良率分析，是非破坏性分析的理想选择。

值得一提的是，本次展览期间，Renishaw英国总部拉曼光谱专家Jerome Innocent将于9月11日下午 14:20于SEMICON TechXPOT创新技术发表会现场演讲，深入剖析拉曼光谱于半导体材料应用的最新趋势，提供业界第一手技术解析。

诚挚邀请您于SEMICON Taiwan期间莅临Renishaw摊位，与我们一同探索尖端半导体技术的创新应用！
更多信息请上官方网站。