因应半导体演进 海德汉/ETEL提供全方位高精度运动平台解决方案
- 陈其璐／台中
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随着半导体制程与封装技术的不断演进，对于半导体制造与封测设备的量测与运动控制的性能需求自然也就不断提升。海德汉/ETEL是拥有超过百年历史的量测和运动控制软硬件的供应商，在运动平台、控制系统与编码器、光学尺等拥有相当完整的产品组合。
谈到与半导体设备上运动控制平台的相关解决方案，海德汉电子事业部销售主管林明良谈到，海德汉可以从机台所需的零组件到完整运动平台，提供高效能解决方案给其客户，在面对晶圆制造与封测业的制程挑战时，都能使其设备发会高效能、高精度的运动控制能力，确保在良率与产能有更加出色的表现。
在设备运动控制平台的零组件方案中，光学尺一向是相当重要的角色，传统光学尺仅能量测单一自由度上的位置，从量测的角度来看，其他自由度上的误差无法被量测，精度就无法提升。对于先进制程的良率提升，某种程度上会遇到瓶颈。若要解决这方面的问题，传统作法必须使用多组光学尺搭配多个读取头来处理多个自由度的精度量测，后端的设备取得较为完整的量测数据后，便得以补偿校正，确保整体设备的运作精度与稳定性都能有最好的表现。
但这种作法在整体系统设计上就会变得非常复杂和没有效率，为了解决这方面的问题，海德汉的MULTI-DOF量测技术与光学尺LIP 6000 Dplus便孕育而生，该产品主要是采用采用绕射式光学量测原理，拥有高分辨率(≤ 172 pm)、高精度(X方向±3µm / Y方向±20µm; 亦提供sub-µm方案)、极低信号误差(± 5 nm)、极低RMS杂讯(0.5nm)的表现。通过使用MULTI-DOF量测技术搭配LIP6000 Dplus，能大幅降低整体系统设计的复杂度，同时也能提升性能表现。
承如一开始所提，海德汉/ETEL在设备运动平台领域拥有相当完整的软硬件解决方案，除了海德汉光学尺外，ETEL亦有运动平台VULCANO2与主动式制振平台QuiET，三者之间可以互相搭配形成完整解决方案，借此展现出相当优异的性能。VULCANO2是一款具有创新设计概念，并搭载着名ETEL铁心式马达以及高端光学尺的龙门堆叠式多轴运动系统，尤其适用于晶圆前段和3D IC制程检测，例如微影堆叠量测、微小关键尺寸特徵2D&3D量测、薄膜量测等应用。QuiET能有效消除来自楼板振动和运动平台本身加减速的振动，QUIET的前馈控制可消除高达99%的振动。
林明良透露，海德汉/ETEL的产品，如光学尺、运动控制器、运动平台与制振平台等，可以彼此互相搭配提供完整解决方案给客户，也能依照客户需求单独提供，就业务模式上相当弹性且多元。而他也强调，海德汉/ETEL丰富的应用经验，搭配海德汉/ETEL所提供的完整解决方案，可缩短开发时间，使客户端设备快速导入量产。以往客户需要自行整合来自各供应商的零组件，并对其原型机进行完整测试，确认没有问题后才会进入量产阶段。使用海德汉/ETEL的完整解决方案，可有效简化开发流程，提升研发效益，使设备快速导入量产。
这类的解决方案非常适合用在半导体各种尺寸的晶圆检测制程以及各种先进封装制程中，目前在许多国际大厂的关键制程设备中，都可以看到海德汉/ETEL的身影。海德汉/ETEL不仅是设备业大厂的重要合作夥伴，也是名副其实的隐形冠军。
