Micro LED大规模商用可期 应用材料从背板技术制造环节下手

应用材料全球显示器事业群副总裁郭怡之表示，应材位于台南的显示器设备制造中心和实验室，已经建置了CVD等Micro LED背板制造所需要的设备，所以可以协助客户进行所有制造环节的参数调校，未来在建厂后进入量产环节时，就能够大幅减少调校时间。DIGITIMES摄

众所皆知，应用材料公司（Applied Materials）（下称应材）是全球知名的面板制造设备大厂。随着显示技术不断演进，从传统LCD一路进展至LED背光技术的发展，再到近年也相当普遍的OLED，显示器产业也开始讨论Micro LED在显示应用的发展与可能性，台湾资通讯产业无不集中火力，投入最新的显示技术研发，而应材同样也在Micro LED有所布局，会与台湾相关供应链与生态系一同合作。

Micro LED大规模商用障碍：制造成本过高

应材全球显示器事业群副总裁郭怡之表示，Micro LED被产业界誉为极致的面板技术，最主要的特色在于它本身具备高亮度与高对比的表现，加上它也无惧于与氧气与空气接触，所以客观来说，Micro LED的寿命相较于OLED为长，加上它本身的Pixel（像素）可以做到更小，所以透明显示的能力高于其他现今的显示技术，穿透比的表现更加出色，与此同时也能整合更多的传感元件，为人机界面应用带来更多的想像空间。问题在于，Micro LED现行的制造成本过高，使得许多对于成本较为敏感的终端应用来说，仍然有导入上的困难。也因此，从制造设备下手，会是应材可以发挥的空间。

应材以四大产品线，协助客户导入LTPO技术

郭怡之进一步解释，Micro LED的成本过高的原因在于现行的背板技术仍是采用LTPS（低温多晶矽）来量产，但以应材的角度，未来若能采用LTPO（低温多晶氧化物）乃至于HMO（高迁移率氧化物半导体）等技术可以实现更低的功耗表现，而应材在相关技术领域上共有四大产品线能协助使之量产，分别是CVD（化学气相沉积）、PVD（物理气相沉积）、E-Beam Review（电子束检视）与EFIB（Electron Beam Review — Focused Ion Beam）等，其优势在镀膜的均匀度表现能更加出色，其次就是在制造过程中，降低异物比重提升良率表现，最后能协助客户从量测的角度来提升良率，简言之，应材希望协助客户在量产Micro LED背板上，在制造端能提供完整的解决方案，协助尽速导入LTPO 乃至于HMO技术。

应材深耕台湾面板产业，Micro LED大规模商用可期

事实上，台湾显示产业投入Micro LED技术开发量产已有不短时间，从面板乃至于终端应用，希望能加以整合，以期在全球Micro LED市场抢占先机。而应材在台南早已设立全球最大的显示器设备制造中心和实验室可以协助客户进行材料的研发与设备量产、参数调整等多项工作。郭怡之透露，在台南的制造与研发，已经建置了前面所谈到的CVD等设备，所以可以协助客户进行所有制造环节的参数调校，未来在建厂后进入量产环节时，就能够大幅减少调校时间，加速量产时程，甚至也能与客户的客户一同合作与讨论，就不同的材料与技术等，探讨更多量产的可能性，也就是说应材与台湾显示产业生态系已有相当密切的合作关系，一同为Micro LED的大规模商用而努力。