Festo高效N2吹扫系统助晶圆厂减碳逾万公吨

Festo N2吹扫系统不仅提升半导体制造的能源效率，更推动产业朝向更环保、永续的方向发展。Festo

随着全球半导体产业面临降低能源消耗与二氧化碳排放的严峻挑战，Festo推出基于压电阀技术的高效N2吹扫系统，专为晶圆制造过程中的氮气吹扫需求打造，实现节能与环保双重目标。

Festo N2吹扫系统采用先进压电比例调节阀，搭配高精度流量传感器与稳定的闭回路控制，能精准调节氮气流量，重复精度达设定值±0.25%，确保流量稳定且线性，避免浪费。压电阀利用压电元件的机电转换特性，透过施加电压产生高速微米级机械变形，实现切换速度快至微秒级，适合半导体制造中对气体流量的严格控制需求。

相较于传统电磁阀，Festo压电阀功耗低于1瓦，能耗降低约80%，结构轻巧紧凑，且因采用固态元件设计，摩擦磨损极低，阀门寿命长且几乎无泄漏，降低维护成本并提升系统可靠性。系统仅需两个气动连接，简化安装，适合无尘室环境使用。

在应用方面，N2吹扫系统主要用于FOUP（前开式晶圆传送盒）及相关设备的氮气吹扫，防止晶圆表面氧化及污染，降低有害微粒与挥发性有机物的影响，提升晶圆良率与制程稳定性。系统可提供高达25标准升／分钟的稳定流量，短时间内甚至可达30标准升／分钟，满足大型晶圆厂高流量需求。

以一座拥有约2万个N2吹扫FOUP存储空间的大型晶圆厂为例，假设实际使用率50%，即约1万个FOUP。透过Festo压电技术N2吹扫系统，单个FOUP的氮气流量可由20 nl/min降低至5 nl/min，每年可节省约7,884立方米氮气，对应节省电力约2,711 kWh，减少二氧化碳排放约1.045公吨，折合节省成本约163至271美元（依电价不同）。

整体而言，整座晶圆厂每年可减少约1.045万公吨CO2排放，约占总排放量的18%，同时降低氮气使用成本约18%。

Festo台湾区总经理吕瑞丰表示：「Festo N2吹扫系统不仅提升半导体制造的能源效率，更推动产业朝向更环保、永续的方向发展。这也展现了Festo作为一家有责任感的百年企业，积极推动社会永续发展的承诺。」Festo持续以创新自动化技术，协助客户实现节能减碳目标，打造更具竞争力与责任感的制造环境。