Aerotech于SEMICON 2015展出纳米级定位平台

Aerotech QNP系列压电纳米定位平台和QLAB系列压电平台控制器。

美商艾罗德克(Aerotech)致力于运动控制系统开发，运动控制为工厂自动化的核心技术，应用于需要高精密定位控制或速度控制的生产设备或工具机，目前主要的运动控制器为CNC、PLC、脉波控制等。目前台湾所使用的运动控制器以中低端占比最高，高端运动控制器相对较少。

工业4.0的浪潮之下，工厂自动化的提升更为所关注，若只是使用中低端的运动控制器难以达到高精准纳米级的定位能力。半导体产业于台湾占比相当高，对于制程上的要求也越来越严苛，如何精进自动化生产设备已达最佳良率与高生产力，为各半导体制造商需解决的课题。

运动控制系统可应用于半导体各阶段制程上，晶圆检测、封装、瑕疵检测与侦测、CD-SEM、TEM、步进式微影、白光干涉等皆有相关应用。高端的运动控制系统可达纳米级定位，相对于一般的运动控制器具有更高精准的定位能力，稳定性也相对高，能提供更佳的生产良率。

Aerotech于SEMICON 2015(摊位：L1028)展出QNP系列压电纳米定位平台、QLAB系列压电平台控制器、PlanarDLA系列开孔式线性马达XY平台以及ANT系列长行程线性马达定位平台，分享高精密运动控制器为半导体制程带来的变革。