快速升级RCM 让厂房进入自动化时代

宏正自动科技 企业应用产品中心副理 陈纬洲

由于市场竞争压力与对工厂产线生产效率提升要求的影响，无自动化半导体设备现在已普遍面临到缺乏通讯界面可做数据集中及管理、需要以人工方式选择Recipe执行与下生产指令动作、自动化升级费用昂贵，以及需投入大笔资源培训了解撰写SECS/GEM通讯协定人力等巨大挑战。

以晶圆厂为例，宏正自动科技企业应用产品中心副理陈纬洲指出，由于工厂面积范围广大，工作人员通常得穿梭于各厂区之间逐一检视机台，而无尘室出入流程又非常繁杂，一旦现场发生状况时，受到人员数量条件限制，往往需要非常长的时间才能排除故障问题。

基于提升效率与减少人力资源成本的目的，陈纬洲建议，公司或许可考虑采用线上控制管理(RCM)系统来解决此一问题。

一般而言，RCM系统硬件架构环境会包括RCM主机与权限管理器等设备，在架设完成后，位处办公室的管理人员和现场值班人员即可透过Internet/LAN/WAN，与设在无尘室内的RCM主机进行连线，再经由权限管理机连结原机台操作台与机台本身。

陈纬洲表示，藉由此一架构的协助，管理人员便能利用RCM撷取位处线上机台的画面，再将其画面传送至后端中控中心的OCR主机上进行相关数据识别，经识别完成的数据除了能够用来自动进行Recipe的比对，以决定是否要再透过RCM控制线上的键盘/鼠标，自动操作机台执行或停止后续动作之外，也可以同步检查其是否超过设定的预警值。一旦发现有异常状况时，即可在第一时间知会值班人员处理。

与自行或委外撰写软件系统的解决方案不同，基于数据安全、异质平台、设备效能与定制化需求等环境因素的限制，软件解决方案常出现因不同版本而导致安装设定繁杂、主控端和被控端都需安装应用程序、主机系统效能与网络带宽被占用、无法做到近端优先与分割画面、无法以线上方式设定BIOS或使用Windows安全模式、管理时需逐台操作、通常不提供定制化与API支持、安全性仅能依照权限设定来控制等状况。

陈纬洲说，RCM由于具有只处理键盘/鼠标/屏幕信号，不受任何OS影响、不需事先安装任何应用程序，不影响被控端主机效能、使用单一界面即能集中控管并同时操作多台等优势，因此与软件解决方案相比，会是较佳的选择。

此外，由于机台本身数据无法过RCM上传或下载，外部电脑病毒/木马等恶意程序透过网络威胁到机台安全的机率亦可望大幅减少。陈纬洲表示，对公司而言，由于RCM可省下机台设备升级SECS/GEM的费用，也无需额外培养SECS/GEM工程师，能够避免操作人员疏失所可能造成的品质问题，减低员工流动所增加的面试/训练成本，而且透过简单的连线安装设定，即可让各家不同厂牌的机台进行整合操作，不会影响到机台效能与发生兼容性问题，因此不仅能够协助企业以最少成本将无自动化设备升级为半自动化，同时还可解决旧有机台因供应商不再继续支持而产生的无法升级状况。日后透过API的协助，还可进一步与MES系统整合。

至于对第一线的员工来说，RCM配合软件使用的GUI十分简单易懂，除了能增加操作人员工作效益，还能节省不少所需教育训练的时间，使员工能以更快的速度完成训练并上线作业。另一方面，设备工程师现在可由线上直接处理机台的状况，而制程工程师则能透过线上调整机台参数，或是自动撷取其所需数据数据进行后送。这不仅能够提高员工的反应速度，增进其工作效率之外，同时也可省去不少过往花费在人工来回操作、检视所产生的大量时间成本，并降低工厂对于人力资源的需求。而机台后送的流量、压力、电压、电流等数值在做为制造流程改善的参考依据之余，亦可做为审计数据，提供给客户做为稽核工厂作业效能时使用。

宏正自动科技的RCM解决方案目前已得到多家国内外晶圆厂、面板厂及玻基板厂应用，并都获致不错的成效。以晶圆厂为例，透过自动化连线方式将大量各家不同厂牌的机台设备进行集中管理之后，由于可省去以往机台在生产线作业时所需要的人员下单操作时间，公司每一笔货品的制程时间都能够因此而大幅度的缩短。

陈纬洲表示，管理人员也不必逐一到各厂区内检视每个机台，只要在中控中心内便能轻松地实时获得所需的相关机台信息，进行必要的管理动作；当发现错误故障的状况时，也能在第一时间派人前往并即刻进行排除。作业人员若能减少在厂区内辛苦穿梭的时间，自然也就能降低工安事故及员工流动率。