半导体高科技厂房设施 最适化研磨液供应系统

近年来半导体产业纷纷重视工业4.0的发展，盼透过大数据(Big Data)整合与人工智能(AI)的加值，带动晶圆厂设施系统更添自动化与智能化，有助于制程掌控、产品精进发展及环境安全多管齐下，使高科技厂房设施进化至下一时代。

厂房设施项目众多，举凡包括水、电、气、化、环安等构面；其中，研磨液输送系统(Slurry Dispensing/ Distribution System；SDS)为供应平坦化制程中供给研磨液的厂房设施，以供应符合制程需求的研磨材料，确保机械平坦化(CMP)制程稳定性及品质优化。

为符合厂务系统智能化的期待，高科厂房的液体输送系统，需在输送程序中的混料、保存、供应等阶段，确保研磨液或化学液体的品质与来料相当，且以系统化稳定控制。即便化学研磨液已经过长时间及长距离的输送，供给制程端使用时，皆能符合来料厂商出厂时的品质，达成制程最适化。

为提供超越客户期待的服务，亚泰半导体设备以累积20余年中央研磨液输送系统(Central SDS)海内外建厂经验，整合优势方案以强化输送系统监测控制能力，提供晶圆厂一个品质监控智能化液体输送设施选择。

SEMICON Taiwan台湾国际半导体展，将于9月5日南港展览馆登场，其中「高科技厂房设施主题专区」(High Tech Facility Pavilion)包含跨国厂商亮相更多符合智能化厂务系统相关服务。专区内包含亚泰半导体设备(AsiaICMP)，于一楼舞台旁K2960摊位展出，分享研磨液输送混料系统如何回应半导体先进制程与智能化工业4.0之要求。