ENTEGRIS推出全新腐蚀性气体纯化器

顶尖的特用材料供应商Entegris Inc.(NASDAQ：ENTG)发表可提升工厂效率的全新GateKeeper GPU(气体纯化装置)腐蚀性气体纯化器。这款新的GPU腐蚀性气体纯化器采用Entegris的高端媒介，其特殊设计可同时去除18种不同气体内的湿气并捕捉挥发性金属微粒，气体包括有Cl2、HBr、HCl、CF4、BCl3、SO2和SF6等，有助于提升晶圆产能。

Entegris微污染物防治部副总Chris Vroman表示：「配管和管线等制程工具的金属元件所造成的污染，是腐蚀性气体内污染物生成最主要的来源。像是铬、铁、锰、钼和镍等过渡金属，还有包括钠、钙和铝等金属族，都会使CMOS闸极堆叠衰退并缩短承载盒的使用寿命。最新的Gatekeeper纯化器媒介搭配内部Wafergard气体过滤器使用下，可有效过滤这些腐蚀性气体中的污染物，避免其产能降低。」

新推出的Gatekeeper解决方案采用全新高端的专利媒介吸收剂，搭配可抗镍腐蚀的3nm微粒过滤，拥有同级最佳的出口纯度(从制程气体测量)，15ppb挥发性金属湿气去除规格，容量为市面上纯化器2倍以上，纯化器使用寿命更长。GPU气体纯化器可以任何方向安装，也可安装在任何的目标腐蚀性气体输送系统内，用于乾式刻蚀和磊晶制程。

Entegris为微电子产业与其他高科技产业中位居全球领导地位之特用材料解决方案供应商。Entegris通过了 ISO -9001认证，并在美国、大陆、法国、德国、以色列、日本、马来西亚、新加坡、韩国和台湾设有制造工厂、客户服务中心或研究基地。更多信息请参阅官网。