Aerotech于台北国际半导体展展出气浮平台

ABL1500系列气浮轴承定位平台。

集成电路让智能手机等电子装置得以运作，随着宰制半导体制程演进的摩尔定律的预测失效后，半导体制程跨入纳米等级的时代，变成越来越大的技术瓶颈与障碍，虽然最新一代的中央处理器(CPU)还是来到了14纳米的制程，里面包含有45亿个晶体管，但是受限于矽所无法跨越的5纳米的量子力学门槛。

面对这种前所未见的小型化的制程挑战，整体产业投注更大的资源，努力于新材料与新制程技术的开发，尤其为了满足新一代电子产品的轻、薄设计要求，透过关键制程的高度整合，依靠纳米等级的位移控制的机台与机构设计，大幅提升制程设备业者的表现，对高度竞争的半导体产业而言，追求制程微缩极小化的目标是大势所趋，也是一个永不停歇的科技追寻。

美商艾罗德克有限公司(Aerotech)，长期专心致力于运动控制(Motion Control)技术，以及多轴定位控制技术(Multi-Axis Positioning)的开发与应用，是世界知名的高精密制程所采用运动系统的重要供应商，对于提供符合现今半导体、显示面板产业或生物科技制程设备所需要的严苛技术规格与产能需求，有长久的口碑。

Aerotech本身的运动控制与多轴定位平台子系统可以达到纳米等级的动态定位精度、几何公差与强韧的热稳定性，并且广泛的应用于包括晶圆平台(Wafer Stage)设计、晶圆检查与侦测、CD-SEM、TEM、步进式微影、白光干涉、先进晶圆级封装等制程机台上。

专注于高精密度纳米等级位移与运动控制技术的开发

于本届台北国际半导体展中，Aerotech针对数种关键制程所需要的运动控制技术进行一系列的展示，展出主题包含：超精密气浮轴承定位平台，压电纳米定位平台，以及中空型12寸晶圆用之XY平台。

气静压技术为Aerotech自主开发之关键运动控制技术，可以确保定位平台位移时，具有最低的平面度误差，另外可达到次微米等级的动态定位精度，以及高的速度稳定性，是气浮轴承定位平台被广泛应用于前段制程设备的主要原因。

压电纳米定位平台技术，则为真对需要小行程，但是次纳米等级的微调整需求所设计，如光学动态对焦，镜片微调等，压电纳米平台的应用广泛，于各式高端显微镜均可以看到压电平台的身影。最后，Aerotech展出最新推出之 PlanarDLA 中空型XY平台，该平台具有业界最低的几何公差，可应用于光学检测，晶圆划线，或表面量测等应用。

Aerotech于2016年台北国际半导体展之摊位号码为2035，欢迎对于提升制程良率或产能之制程开发者，设备开发者，与有兴趣的先进前来参观。