英国创新液态氢携台合作：节省晶圆厂25%空间 推升制造新动能

液态氢系统导入场域，展现高效储氢与供氢应用潜力。LUX

随着晶圆制程持续朝先进制程迈进，超高纯度氢气已成为半导体制造不可或缺的重要关键。在晶圆制造过程中，晶圆厂供氢方式都是由外部供应商透过高压槽车运送5N（99.999%）纯度氢气至厂区，再经由晶圆厂自行进一步纯化，以符合先进制程需求。

此种做法不仅需要大量高压存储设备，也增加物流运输、供应链及厂务管理等挑战，一旦遭遇天然灾害、交通中断或供应链波动，都可能影响氢气供应稳定性，也让企业在供应韧性与安全管理方面面临更多挑战。

看准半导体产业对供应韧性、安全性及永续发展的需求，英国氢能新创LUX推出全新液态氢解决方案，透过低温液态存储与现场高纯度供氢，不仅可降低运输及存储风险，也能减少厂内纯化设备投资与维运成本，同时提升供氢稳定性，协助半导体业者打造更具韧性与永续性的氢气供应架构。

LUXCEOSamuel Dallimore表示，传统依赖高压槽车配送厂内，再自行纯化的供氢模式，已成为晶圆厂在供应链韧性与营运效率上的挑战。LUX液态氢技术是透过低温液态存储与现场高纯度供氢，不仅可降低运输及存储风险，也能减少厂内纯化设备投资与维运成本，同时提升供氢稳定性，协助半导体业者打造更具韧性与永续性的氢气供应架构。

LUX在推出全新液态氢解决方案之外，也透过台英创新产业研究人员移地研究计划UK-TW Innovative Industries Programme（I²P），与工研院及台湾半导体产业合作，希望藉由台湾完整的半导体生态系，加速技术验证、产品优化及市场导入，让液态氢技术更快迈向商业化应用，同时将相关解决方案推向全球市场。

整合制氢、液化与供气LUX T-100重新定义供氢模式

看准半导体产业对超高纯度氢气的需求，总部位于英国牛津的LUX，专注于深低温工程技术领域多年，成功开发可大幅提升液化效率的新型热交换解决方案，让液态氢首次能够透过货柜化设备，于应用场域完成制氢、液化、存储及供气，可望重新定义半导体产业的供氢模式。

待技术完成验证并迈向商业化后，晶圆厂将不再需要依赖外部供应商高压槽车运送氢气，而是可直接在厂区内完成氢气制备、存储与供应，打造「厂内生产、就地存储、按需供应」的新模式，进一步提升供应自主性、空间使用效率与整体营运韧性。

LUX首款产品LUX T-100系统将水电解制氢、液态氢液化、低温存储及按需汽化供气整合于单一货柜化系统中，以便能直接于使用现场生产与使用，不仅缩短供应链，也降低对外部物流及运输排程的依赖。加上液态氢具有更高的存储密度，所需空间仅约为传统气态系统的四分之一，对于寸土寸金、厂务空间配置极为严谨的晶圆厂而言，可望有效提升空间利用效率，也为未来产能扩充保留更多弹性。

Samuel Dallimore表示，台湾拥有全球最完整成熟的半导体产业聚落，同时也是全球超高纯度氢气需求最集中的市场之一，因此自公司成立以来，便将台湾视为最重要的海外发展据点。然而，半导体产业向来重视长时间运转验证、供应可靠性及既有供应链合作关系，即使拥有创新技术，新创企业仍需要透过实际场域验证，才能取得客户信任并进一步导入量产应用。

在前瞻科技驱动下，跨国合作已成为创新落地的关键引擎。LUX透过 I²P计划顺利与台湾半导体生态系对接，大幅缩短市场验证及合作媒合的时间。

英国在台办事处携手工研院助LUX接轨台湾半导体需求

英国在台办事处(British Office Taipei)串联英国创新企业与国际合作资源；藉由I²P协助英国企业与台湾研究机构促成国际合作关系，工研院则提供技术展示、场域验证及产业链媒合等资源，让创新技术得以更快速与半导体实际需求接轨。

相较于企业自行开拓海外市场通常需要3至5年，I²P串联台湾研究机构、产业夥伴与实际应用需求，协助LUX快速取得第一线产业回馈，大幅缩短需求确认、产品验证与市场导入时程。这不仅展现I²P加速英国创新技术落地台湾的关键作用，也为企业建立在地合作网络与后续商业拓展基础。

未来，LUX将持续透过I²P深化与台湾半导体产业的合作，加速液态氢技术从实验室走矢量产现场，为晶圆厂打造更具韧性与永续性的供氢模式。